في بيئة التصنيع، كما نعلم، فإن أي تغير في درجة الحرارة بمقدار 0.5 درجة مئوية أثناء عملية التسخين قد يؤدي إلى تلف الأبعاد الحرجة للرقائق، وبالتالي إهدار كميات كبيرة من المواد. لذلك، قمنا بتطوير نظام لاستخدام شريط حراري عالي الجودة للتخلص من هذا القدر من عدم اليقين.
ما هو المهم من الناحية التقنية؟ يوفر النظام استقرارًا في درجة الحرارة عند مستوى ±0.1 درجة مئوية على سطح الرقيقة، وذلك باستخدام أشعة تحت الحمراء ذات الطول الموجي القصير، بالإضافة إلى أجهزة قياس دقيقة لضمان الحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة دون تجاوزها. تم تصميم النظام ليعمل في غرف نظيفة من الفئة 1–100، ويستخدم مواد ذات انبعاثات منخفضة، بالإضافة إلى نظام للتحكم في الجسيمات يضمن بقاء عدد الجسيمات أقل من الحد المسموح به، سواء خلال عمليات التسخين الخفيفة أو الشديدة. يظل توزيع الحرارة ثابتًا من دورة إلى أخرى، لأن النظام يتحكم في درجة الحرارة بشكل دقيق، ولا يعتمد على التخمين.
لماذا ينجح النظام في عمليات الطباعة الضوئية؟ يؤثر استقرار درجة الحرارة أثناء عمليات التسخين الخفيفة بشكل مباشر على عملية إزالة المذيبات ومقاومة الفيلم للتآكل. أما القدرة على تكرار عمليات التسخين الشديدة فهي تحدد مدى قوة التصاق الفيلم بالسطح. يضمن نظامنا الحفاظ على هذه المعايير، مما يقلل من الحاجة إلى إعادة العمل، ويحسن من كفاءة الإنتاج، بالإضافة إلى تقليل هدر الطاقة من خلال تحديد درجة الحرارة المناسبة للعملية. وبذلك، يتم الحصول على درجة دقيقة في تحديد الأبعاد، وتقليل العيوب، بالإضافة إلى إمكانية التخطيط لفترات الصيانة بشكل أفضل. بمعنى آخر، يتم تحقيق كفاءة أعلى في الإنتاج، دون الحاجة إلى التعامل مع التغيرات غير المتوقعة في درجة الحرارة.
بعض الملاحظات العملية: يتطلب التركيب مطابقة قدرة الفتحات الهوائية وأنظمة عزل الاهتزازات مع مواصفات الجهاز. فالأنابيب غير المتطابقة قد تسبب اضطرابات في تدفق الهواء، مما يؤثر على استقرار درجة الحرارة. يمكن للمبرد التعامل مع عمليات التسخين المتكررة، لكن في ظروف درجات الحرارة العالية والإنتاج الكبير، يجب فحص واجهة الشريط الحراري بشكل دوري للحفاظ على قوة التصاقه. بمجرد مطابقة النظام مع مواصفات العملية، سيعمل بشكل صحيح.