আপনার ক্লিনরুমকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা: ইনফ্রারেড হিটিং সম্পর্কে সত্যটা
যদি আপনি ক্লাস 100 ক্লিনরুম চালান, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই ধূলিকণাগুলোর সমস্যার কথা জানেন। একটি ছোট্ট ধূলিকণা বা গ্যাস থেকে উৎপন্ন কণাগুলোই আপনার সমস্ত ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে।
সমস্যা হলো, বেশিরভাগ স্ট্যান্ডার্ড হিটিং এলিমেন্টগুলো এই কাজের জন্য উপযুক্ত নয়। গরম ও ঠান্ডা হওয়ার সময় এগুলো থেকে অণুস্তরের ধূলিকণাগুলো বেরিয়ে আসে। এটা একটি ক্রমাগত সমস্যা।
আমরা এর জন্য একটি ভালো উপায় খুঁজে পেয়েছি। আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ টিউব ব্যবহার করি; এগুলোর উপর সোনার আবরণ রয়েছে। এটা সরল, কিন্তু কার্যকর।
কেন সোনা?
স্ট্যান্ডার্ড কোয়ার্টজ ল্যাম্পগুলো তাপকে সব দিকে ছড়িয়ে দেয়। এটা অপচয়।
টিউবের পিছনে সোনার পাত যোগ করার ফলে ইনফ্রারেড শক্তিগুলো সামনের দিকে চলে যায়। ফলে আপনার ওয়েফারগুলোতে তাপ দ্বিগুণ হয়ে যায়। আমরা সোনা ব্যবহার করি কারণ এটা ইনফ্রারেড শক্তিকে প্রতিফলিত করতে সবচেয়ে ভালো; আর অন্যান্য উপাদানের বিপরীতে, গরম হওয়ার সময় এটা অক্সিডাইজ হয় না।
আর আমরা যেকোনো ধরনের কাঁচ ব্যবহার করি না। আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এর ফলে তাপ বাড়লেও টিউব থেকে আয়নগুলো ওয়েফারে চলে আসে না। ফলে ওয়েফারগুলো পরিষ্কার থাকে।
গতি, তাপ – আর কিছু সতর্কতা
এই ল্যাম্পগুলো দ্রুত তাপ প্রদানের জন্য তৈরি করা হয়েছে। সোনার কারণে তাপ আরও কেন্দ্রীভূত হয়; ফলে লক্ষ্যমাত্রা তাপমাত্রায় পৌঁছানো দ্রুত হয়। এর ফলে ওয়েফারগুলো কম সময় ধরে চাপের মধ্যে থাকে।
কিন্তু একটি সতর্কতা: পাওয়ার ডেনসিটি নিয়ন্ত্রণ করুন।
যখন আপনি এই ল্যাম্পগুলোকে সর্বোচ্চ মাত্রায় ব্যবহার করেন, তখন এগুলোর ইন্ডেক্স ক্যাপ ও সিলগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়। আমি সবসময় মানুষদের ভ্যাকুয়াম সিল ও কুলিং সিস্টেমগুলো নিয়মিত পরীক্ষা করতে বলি। আপনি চাইবেন না যে তাপের কারণে কোয়ার্টজগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হোক।
আপনার লাইনে এগুলো ব্যবহার করার উপায়
আমরা এগুলোকে সরাসরি বদলানোর জন্য ডিজাইন করেছি। আপনার সমস্ত যন্ত্রপাতি পুনর্নির্মাণ করার দরকার নেই।
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, আপনি সেই বড় আকারের রিফ্লেক্টরগুলো ব্যবহার করতে হবে না। এগুলো ধূলি সঞ্চয় করে এবং পরিষ্কার করা খুবই কঠিন। যেহেতু প্রতিফলন টিউবের ভিতরেই ঘটে, তাই চেম্বারে কম যন্ত্রাংশ থাকে।
কম যন্ত্রাংশ মানে দ্রুত পরিষ্কার হওয়া। আর দ্রুত পরিষ্কার হওয়া মানে ধূলিকণাগুলোর সংখ্যা নিয়ন্ত্রণে থাকে।