ফটোরেসিস্ট বেকিংয়ের সময় ০.৫°C এর মতো ছোট পরিবর্তনগুলোও ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলোকে প্রভাবিত করে এবং অনেক কাজ নষ্ট হয়ে যায়। আমরা এই ধরনের অনিশ্চয়তাগুলো দূর করার জন্য উচ্চ-তাপমাত্রার থার্মাল টেপ সিস্টেম তৈরি করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ? এই সিস্টেমটি ওয়েফারের সর্বত্র ±০.১°C এর মধ্যে স্থিতিশীলতা বজায় রাখে। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ও ক্লোজড-লুপ পাইরোমেট্রি ব্যবহার করে নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখা হয়। এটি ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমগুলোর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; কম গ্যাস নিঃসরণকারী উপকরণ ও পার্টিকেল-নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা রয়েছে। ফলে প্রতিবারই ফটোরেসিস্টের গুণমান একই থাকে। কারণ থার্মাল ব্যবস্থাটি নিয়ন্ত্রিত থাকে—অনুমান করা হয় না।
লিথোগ্রাফিতে এটি কীভাবে কাজ করে? “সফট বেক” প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা সলভেন্ট অপসারণ ও ফিল্মের টেনশনকে প্রভাবিত করে। “হার্ড বেক” প্রক্রিয়ায় ফিল্মের আঠালোতা ও ইটচিং প্রতিরোধ ক্ষমতা নিয়ন্ত্রিত হয়। আমাদের সিস্টেমটি এই প্রক্রিয়াগুলোকে নির্ধারিত মানে রাখে; ফলে পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়, উৎপাদন ক্ষমতা বাড়ে এবং শক্তি অপচয়ও কমে যায়। ফলে CD-এর নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়, ত্রুটি কমে যায় এবং রক্ষণাবেক্ষণের সময়ও নির্ধারণ করা যায়। অর্থাৎ, কোনো পরিবর্তন ছাড়াই উৎপাদন ক্ষমতা বাড়ে।
কিছু ব্যবহারিক নির্দেশ: ইনস্টলেশনের সময় এক্সহস্ট অ্যাম্পিয়ার ও ভাইব্রেশন আইসোলেশনকে টুলের নির্দেশাবলী অনুযায়ী সামঞ্জস্য করতে হয়। অসামঞ্জস্যপূর্ণ ডাক্টিং ফ্লো-স্ট্রিমে ব্যাঘাত সৃষ্টি করে। হিটারটি বারবার থার্মাল সাইকেলিং সহ্য করতে পারে; কিন্তু উচ্চ-তাপমাত্রা ও উচ্চ-উৎপাদন অবস্থায় টেপের ইন্টারফেসটি নিয়মিতভাবে পরীক্ষা করা প্রয়োজন। প্রক্রিয়ার নির্দেশাবলী অনুযায়ী টুলটিকে সাজালে এটি নির্ধারিত মানে কাজ করবে।