আউট আনে লিথোগ্রাফি ফ্লোরে, একটি ওয়েফার ক্লিন বাথ থেকে ভিজে ভিজে বেরিয়ে আসে। যদি IR ড্রায়ার সঠিকভাবে কাজ না করে, তাহলে জলছাপ থেকে যায়, ফটোরেজিস্ট লেগে থাকে না, এবং লাইনের কাজ থেমে যায়। আমরা আমাদের ওয়েফার শুকানোর ইনফ্রারেড হিটার তৈরি করেছি যাতে এই ব্যর্থতা শুরু হওয়ার আগেই তা থামানো যায়।
হুডের নিচে যা গুরুত্বপূর্ণ
আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড কোয়ার্টজ ইমিটার ব্যবহার করি, যাতে শক্তি সরাসরি দ্রুত ওয়েফারে পৌঁছায় এবং সাবস্ট্রেট ঠান্ডা থাকে। প্রক্রিয়া উইন্ডোর মধ্যে ±0.1°C তাপমাত্রার একরূপতা পাওয়া যায়, যা সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইল সঠিক অবস্থানে রাখে। আউটপুট ৫,০০০+ ঘণ্টারও বেশি সময় ধরে স্থিতিশীল থাকে এবং তীব্রতা ৫% এর কম পরিবর্তন হয়, ফলে পুনরাবৃত্তি সময়ের সাথে কমে না। হিটার মডিউল ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে আরামদায়কভাবে বসানো যায় এবং এটি শূন্য কণিকা তৈরি করার জন্য তৈরি—ব্যবহারের স্থানে কণিকা গণনা মনিটরিং দ্বারা এটি নিশ্চিত হয়েছে।
প্র্যাকটিসে কেন এটি কাজ করে
ওয়েফার শুকানোর ক্ষেত্রে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণই তাপগত বাজেট। আমাদের IR হিটারগুলি এমন তাপ দেয় যা ধারাবাহিক এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য, ফলে ওয়েফার দ্রুত শুকায়, ক্যারি-অভার ত্রুটি কমে এবং আউটপুট বাড়ে তবুও শক্তি ব্যবহারে অতিরিক্ত চাপ পড়ে না। আপনি দ্রুত সাইকেল সময়, কম নষ্ট হওয়া লট এবং কম রক্ষণাবেক্ষণ দেখতে পাবেন কারণ ইমিটারগুলির দীর্ঘ আয়ু এবং তাপগত প্রোফাইল স্থিতিশীল থাকে। ডিজাইনটি আন্তর্জাতিক সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম মানের সমতূল্য হিসাবে যাচাই করা হয়েছে, তাই এটি আপনার বিদ্যমান প্ল্যাটফর্মের জন্য একটি পরিবর্তনযোগ্য, যাচাইকৃত বিকল্প হিসেবে ব্যবহার করা যায়।
আপনাকে যা আগে থেকে জানতে হবে
ইনস্টলেশন টুলের মেকানিক্যাল ইন্টারফেস এবং কন্ট্রোল সিগন্যালের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়া গুরুত্বপূর্ণ—সাধারণত ২৪ V লজিক এবং EMI রোধ করার জন্য শিল্ডেড ক্যাবলিং ব্যবহার করা হয়। হিটার কয়েক সেকেন্ডে পূর্ণ তাপমাত্রায় পৌঁছে যায়, তাই প্রক্রিয়া কন্ট্রোলারকে ওভারশুট এড়াতে ওয়ার্ম-আপ এবং রেসিপি ট্রানজিশনে টিউনিং করা প্রয়োজন। উচ্চ আর্দ্রতার এলাকায় স্থানীয় কনডেনসেশন নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করতে হবে; ইমিটার উইন্ডো পরিষ্কার রাখতে হবে যাতে IR ট্রান্সমিশন স্থিতিশীল থাকে।