Udržení čisté místnosti opravdu čistou: Pravda o infračerveném ohřevu
Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte ten noční můru spojenou s uvolňováním částic prachu. Jediný drobný zrnko prachu nebo trocha vypouštěných plynů může zničit celou šarži waferů.
Problém je v tom, že většina běžných ohřívacích prvků není na to vhodná. Při zahřívání a ochlazování totiž vydávají mikroskopické úlomky. Je to neustálý boj.
Našli jsme lepší řešení. Používáme kvartové trubice vysoké čistoty s zlatým povlakem, který umožňuje odraz infračerveného záření. Je to jednoduché, ale funguje to.
Proč zlato?
Běžné kvartové lampy vyzařují teplo do všech směrů. To je plýtvání energií.
Přidáním tenké vrstvy zlata na zadní stranu trubice posouváme veškerou tu infračervenou energii dopředu. V podstatě tak zdvojnásobujeme množství tepla, které dopadá na váš substrát. Používáme zlato, protože je nejlepší na odraz infračerveného záření. Na rozdíl od ostatních materiálů se také neokysluje, když se věci zahřejí.
A nepoužíváme jen obyčejné sklo. Používáme syntetický kvart vysoké čistoty. To znamená, že když zvyšujete teplotu, nemusíte se obávat migrace iontů z trubice na váš křemík. Vše zůstává čisté.
Rychlost, teplota a omezení
Tyto lampy jsou určeny k rychlému tepelnému zpracování. Díky zlatu se energie soustředí, takže teplota v místnosti je mnohem vyšší. Dosáhnete cílových teplot rychleji, což znamená, že vaše wafery tráví méně času pod nátlakem.
Ale je potřeba být opatrný: dávejte pozor na hustotu energie. Když tyto lampy použijete na jejich absolutní limity, koncové kryty a uzávěry to opravdu pocítí. Vždy radím lidem, aby pečlivě sledovali své vakuové uzávěry a chladicí systémy. Nechcete přece, aby tepelný tlak poškodil váš kvart uprostřed procesu.
Jak to funguje ve vaší linii
Navrhli jsme je tak, aby se daly nahradit bez nutnosti přestavby celého zařízení.
Jednou z největších výhod je to, že nemusíte používat ty objemné externí reflektory. Ty jsou magnetem na prach a jejich čištění je obtížné. Jelikož odraz záření probíhá přímo uvnitř trubice, je v místnosti méně součástek. Méně součástek znamená rychlejší cyklus čištění. A rychlejší cyklus čištění znamená, že počet částic zůstává přesně tam, kde má být.