Hören Sie auf, die Wände des Geräts zu erhitzen!
Wenn Sie schon einmal eine Trocknungs- oder Aushärteanlage für Halbleiter gebaut haben, kennen Sie das Problem. Die Wände der Anlage sind in der Regel ein Albtraum. Standard-Infrarotheizungen strahlen Energie in alle Richtungen ab. Der größte Teil dieser Wärme erreicht die Wafer überhaupt nicht – sie prallt einfach gegen die Innenwände der Anlage. Dadurch entsteht eine „Hitzeansammlung“. Plötzlich ist die Gehäusestruktur so heiß, dass sie einen Bediener verbrennen kann. Man muss daher überdimensionale Kühllüfter kaufen, um zu verhindern, dass die ganze Anlage schmilzt.
So lösen wir dieses Problem.
Anstatt einfach nur einen Quarzrohrheizer zu verwenden, nutzen wir technologien, die die Infrarotstrahlung gezielt lenken können. Stellen Sie sich das wie den Wechsel von einer Glühbirne zu einer Taschenlampe vor. Wir verwenden reflektierende Beschichtungen sowie präzise Winkel, um die Infrarotenergie genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird. Dadurch wird Energie nicht mehr unnötig an den Außenwänden der Anlage verschwendet – die Wärme gelangt direkt zum Produkt.
Vorteile für die Personen, die die Maschinen bedienen.
Dadurch ändert sich die Atmosphäre im Arbeitsbereich ganz erheblich. Da die Wärme gezielt abgegeben wird, bleiben die Innenwände viel kühler. Man muss sich keine Sorgen machen, dass ein Techniker bei einem schnellen Werkzeugwechsel oder bei manuellen Eingriffen Verbrennungen erleidet. Zudem müssen Sie auf die dicken, sperrigen Isolierschichten verzichten, die viel Platz im Inneren der Anlage beanspruchen. Dadurch wird die gesamte Anlage kompakter.
Der Nachteil – und wie man damit umgeht.
Es gibt jedoch einen Trade-off: Wenn man die Strahlung gezielt lenkt, wird die Wärmedichte am Fokuspunkt sehr hoch. Wenn das Zielobjekt verschoben oder ungleichmäßig ist, entstehen Hotspots auf dem Substrat. Um das zu vermeiden, empfehlen wir, diese Lampen mit einem geschlossenen PID-Controller zu kombinieren. Dadurch kann die Leistung in Echtzeit an die tatsächliche Oberflächentemperatur angepasst werden. Damit haben Sie eine Maschine, die kühl bleibt, und ein Produkt, das genau die Wärme erhält, die es braucht.