Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizungen die Qualität Ihrer Wafer beeinträchtigen!
Falls Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich die Regeln bezüglich der Luftfilterung. Doch die eigentlichen „Töter“ sind oft die Heizquellen selbst.
Die meisten Standard-Heizelemente erzeugen Staub – winzige, mikroskopisch kleine Partikel, die man nicht sehen kann. Doch Ihre Wafer spüren diese Partikel durchaus. Genau hier kommen unsere hochreinen synthetischen Quarzlampen ins Spiel.
Warum Quarz tatsächlich funktioniert
Wir haben uns für hochreinen Quarz entschieden – aus einem einfachen Grund: Er zerfällt nicht in Staub, wenn es heiß wird.
Im Gegensatz zu den herkömmlichen Metallheizungen nutzen diese Lampen Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Die Wärme gelangt direkt zum Zielobjekt – ohne dass Zeit damit verschwendet wird, die umgebende Luft aufzuwärmen. Das ist großartig, denn so entstehen keine störenden Konvektionsströmungen, die den Staub in der Luft aufwirbeln könnten.
Außerdem werden die Quarzröhren bei extrem hohen Temperaturen verschmolzen. Dadurch werden alle organischen Rückstände bereits vor dem Einsatz der Lampe beseitigt. So entsteht kein unangenehmer Staub beim Betrieb der Lampe.
Kleiner Platzbedarf, große Wärmeleistung
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie schnell arbeiten können. Durch die Kombination großer Leistungskapazität in einem kleinen Raum erhält man die nötige Wärmeintensität für das Aushärten und Trocknen – ohne dass ein riesiger Ofen Platz beanspruchen muss.
Wenn man sich die Elektrodenverschlüsse genau ansieht, erkennt man, wo wir besondere Aufmerksamkeit investiert haben. Wir verwenden spezielle Glas-Metall-Verschlüsse, um das darin enthaltene Halogengas einzuschließen. Sollte dieser Verschluss undichten, ist die Lampe sofort unbrauchbar. Wir haben diese Verbindungen so konstruiert, dass sie auch bei häufigen Temperaturschwankungen nicht brechen.
Die Nachteile – und wie man damit umgeht
Hochreiner Quarz ist etwas empfindlich. Er liebt zwar Wärme, hasst aber Stöße. Er ist also empfindlich. Wenn man ihn während der Installation unsachgemäß behandelt oder die Maschine stark vibriert, kann der Quarz zerbrechen. Stellen Sie sicher, dass die Befestigungselemente gut gedämpft sind.
Noch etwas: Das Kurzwellen-Infrarot ist sehr intensiv. Überprüfen Sie unbedingt, ob die Abschirmung für die jeweilige Wellenlänge geeignet ist. Andernfalls könnte ein naheliegender Sensor beschädigt werden oder Kunststoffkomponenten in der Maschine schmelzen.