Calentamiento por IR vs. aire caliente: ¿Por qué su equipo para el procesamiento de obleas es lento?
Si todavía utiliza circulación de aire caliente para el procesamiento profundo de semiconductores, probablemente esté perdiendo mucho tiempo esperando a que todo esté listo.
El aire caliente se basa en la convección: es necesario calentar toda la cámara, cada centímetro cúbico de aire, antes de que la oblea misma comience a calentarse. Es un proceso lento. Hay una gran demora que afecta negativamente su productividad.
Se trata del tiempo.
El calor por IR funciona de manera diferente. No se preocupa por el aire; simplemente envía energía radiante directamente hacia la oblea. Es rápido… realmente rápido.
En lugar de esperar a que el ventilador mueva el aire caliente, los fotones actúan directamente sobre el material, lo que acelera el proceso. Los tiempos de inicio y finalización del proceso disminuyen drásticamente. Al eliminar esa demora, su productividad aumenta significativamente.
Además, se obtiene un mejor control del proceso.
Con el aire caliente, siempre hay que preocuparse por los “puntos fríos” causados por bolsas de aire o turbulencias. Es un problema. Con los sistemas de calor por IR, podemos controlar mejor la distribución del calor. Basta con ajustar la disposición de las lámparas para compensar las pérdidas de calor en los bordes, y así se logra una distribución uniforme del calor.
Pero aquí está el problema: no se puede ser descuidado con el hardware.
Dado que el calor por IR actúa muy rápidamente, se necesita un sensor de alta velocidad y un sistema PID preciso. Si el sensor es lento, se podrá sobrecalentar la oblea antes de que el sistema se dé cuenta de que debe detener el proceso.
Es un compromiso que hay que tener en cuenta.
El calor por IR es muy eficaz, pero solo calienta aquello que puede “ver”.
Si su equipo tiene estructuras complejas o formas tridimensionales, encontrará problemas relacionados con la distribución del calor. No basta con colocar una lámpara de IR en un equipo antiguo basado en convección. Hay que rediseñar todo el sistema para garantizar que haya una línea de visión clara hacia el sustrato.