Mantener su sala limpia realmente limpia: La verdad sobre la calefacción por infrarrojos
Si usted maneja una sala limpia de clase 100, seguramente conoce bien el problema que representa la presencia de partículas en el aire. Una sola partícula de polvo o un poco de gases pueden arruinar todo su lote de obleas.
El problema es que la mayoría de los elementos de calefacción estándar no están diseñados para este propósito. Tendencias a desprender partículas microscópicas cuando se calientan y se enfrían. Es una lucha constante.
Hemos encontrado una solución mejor. Utilizamos tubos de cuarzo de alta pureza, con una capa reflectante recubierta de oro. Es simple, pero funciona.
¿Por qué oro?
Las lámparas de cuarzo estándar emiten calor en todas direcciones. Eso es un desperdicio. Al agregar una fina capa de oro en la parte posterior del tubo, logramos dirigir toda esa energía infrarroja hacia adelante. En esencia, duplicamos la cantidad de calor que llega al sustrato. Usamos oro porque es el mejor material para reflejar los rayos infrarrojos. Además, a diferencia de otros materiales, no se oxida cuando se calienta.
Tampoco utilizamos cualquier tipo de vidrio. Usamos cuarzo sintético de alta pureza. Esto significa que, cuando se eleva la temperatura, no hay riesgo de que los iones se transfieran desde el tubo al silicio. Así, el sustrato permanece limpio.
Velocidad, calor y sus limitaciones
Estas lámparas están diseñadas para procesos térmicos rápidos. Como el oro concentra la energía, el área afectada por el calor es mucho más pequeña. Se alcanzan las temperaturas deseadas más rápido, lo que significa que las obleas pasan menos tiempo bajo estrés térmico.
Pero hay algo importante: hay que tener cuidado con la densidad de potencia. Cuando se llevan estas lámparas al límite, las capas protectoras y los sellos se ven afectados. Siempre recomiendo vigilar atentamente los sellos de vacío y las líneas de refrigeración. No queremos que el estrés térmico dañe el cuarzo durante el proceso.
Cómo integrarlas en su línea de producción
Hemos diseñado estas lámparas para que puedan reemplazar fácilmente a las lámparas existentes. No es necesario reconstruir todo el equipo.
Una de las ventajas es que no es necesario usar esos reflectores externos voluminosos. Son fuentes de polvo y son difíciles de limpiar. Dado que la reflexión se produce directamente dentro del tubo, hay menos piezas en la cámara. Menos piezas significa un ciclo de limpieza más rápido. Y un ciclo de limpieza más rápido significa que el número de partículas permanece dentro de los límites deseados.