دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در دستگاه گلووباکس هدر برود!
اگر تا به حال سیلیکون ویفرها را در داخل دستگاه گلووباکس گرم کردهاید، میدانید که چقدر این کار آزاردهنده است. شما انرژی زیادی را وارد دستگاه میکنید، اما بخش بزرگی از آن انرژی هدر میرود. عناصر IR استاندارد، گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ نصف آن گرما به دیوارههای دستگاه برخورد میکند، نه به سطح سیلیکون ویفر. این کار، هر دو از نظر انرژی و زمان، تلفات زیادی دارد.
ما راه بهتری پیدا کردیم؛ شروع کردیم به استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا در ساختار دستگاه گرمایشی.
چرا طلا؟
دلیلش ساده است: طلا، تابش مادون قرمز را بهتر از آلومینیوم یا فولاد صیقلی بازتاب میدهد. در نتیجه، گرما به جای جذب شدن توسط قطعات دستگاه، دوباره به سمت سیلیکون ویفر ارسال میشود.
این روش، منبع گرمایی نامنظم را به یک پرتو گرمایی متمرکز تبدیل میکند؛ در نتیجه، گرما دقیقاً در همان جایی که نیاز دارید، تولید میشود.
اما مشکل اینجاست: از آنجایی که ما مقدار زیادی گرما را به سمت سیلیکون ویفر فرستاریم، خود دستگاه گرمایشی نیز بسیار گرم میشود. این یک تضاد است؛ بنابراین باید تهویه دستگاه گلووباکس یا سیستمهای خنککننده آن را بررسی کنید. اگر جریان هوای کافی در اطراف دستگاه وجود نداشته باشد، ممکن است مدارهای الکتریکی دستگاه خراب شوند یا حتی اتصالات آن ذوب شوند.
خبر خوب این است که این بازتابندهها میتوانند به جای عناصر قدیمی استفاده شوند؛ لازم نیست کل سیستم را دوباره ساختاربندی کنید. فقط کافی است از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده کنید؛ در نتیجه، هر وات انرژی واقعاً کار خود را انجام خواهد داد. متوجه خواهید شد که دمای مورد نظر شما سریعتر به دست میآید، و سیستم تأمین انرژی نیز کمتر فعال میشود.
و اگر با چرخههای حرارتی با دقت بالا سروکار دارید، این روش واقعاً مفید خواهد بود؛ چرا که گرما به طور یکنواخت روی سیلیکون ویفر توزیع میشود. دیگر نیازی به نگرانی درباره نقاط گرم اضافی نیست. فقط کافی است از یک کنترلکننده PID مناسب استفاده کنید؛ در نتیجه، میتوانید محدودیتهای دمایی مورد نظر خود را حفظ کنید، بدون اینکه با مشکلات ناشی از تغییرات ناگهانی دما مواجه شوید.