در فرآیند تولید، میدانیم که تغییر دما در حدود ۰.۵ درجه سانتیگراد در طول فرآیند پخت فوتورزیست، میتواند منجر به اختلالاتی در ابعاد مهم قطعات شده و باعث هدر رفتن مقدار زیادی از محصولات شود. ما سیستم نوار حرارتی با دمای بالا را طراحی کردیم تا این عدم قطعیتها را از بین ببرد.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟ این سیستم، یکنواختی دما را در سراسر ویفر در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ برای این منظور از موجهای مادون قرمز کوتاه و سیستم اندازهگیری دمای دقیق استفاده میشود تا دمای مورد نظر به دقت کنترل شود. این سیستم برای اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین از موادی با میزان گاز خروجی کم استفاده میشود و ساختاری برای کنترل ذرات وجود دارد که مانع از افزایش تعداد ذرات در فرآیند میشود. پروفیلهای فوتورزیست نیز در هر چرخه تولید، یکنواخت باقی میمانند؛ زیرا دمای مورد نیاز به دقت کنترل میشود.
چرا این سیستم در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟ ثبات دما در فرآیند پخت، مستقیماً بر روی فرآیند حذف حلالها و تنشهای فیلم تأثیر میگذارد. تکرارپذیری فرآیند پخت نیز بر روی چسبندگی فیلم و مقاومت آن در برابر خوردگی تأثیر دارد. سیستم ما این موارد را در محدوده مشخصی نگه میدارد؛ این امر باعث کاهش کارهای تکراری، افزایش بازدهی، و کاهش مصرف انرژی میشود. در نتیجه، کنترل ابعاد قطعات بهتر شده، نقصها کاهش مییابد و زمان نگهداری سیستم نیز قابل پیشبینی خواهد بود؛ به عبارت دیگر، بازدهی بالاتری خواهیم داشت.
چند نکته عملی: برای نصب این سیستم، باید توان مخرج هوا و سیستم جداکننده لرزشها را با ویژگیهای سیستم تطبیق دهید. استفاده از لولههای نامناسب میتواند باعث ایجاد ناهمواری در جریان هوا شود. هیتر این سیستم میتواند چرخههای حرارتی مکرر را تحمل کند؛ اما در شرایط دمای بالا و بازدهی بالا، لازم است که رابطه بین نوار حرارتی و سطح قطعه به طور منظم بررسی شود تا چسبندگی فیلم حفظ شود. اگر این سیستم را با دستورالعملهای فرآیند تولید تطبیق دهید، عملکرد آن مطابق با استانداردها خواهد بود.