در فرآیند تولید، انحراف حرارتی در هنگام خشک کردن ویفر یکی از مسائلی است که یک سلول لیتوگرافی به هیچ وجه نمیتواند تحمل کند. حتی چند درجه عدم یکنواختی در سطح فوتورزیست به عنوان خطاهای همپوشانی نمایان میشود و مستقیماً بر بازده تأثیر میگذارد. ما هیترهای خشککن ویفر صنعتی خود را ساختهایم تا این متغیر را از جدول خارج کنیم.
دقت مادون قرمز: کنترل زیر میلیمتر که میتوانید به آن اعتماد کنید
ما امیترهای مادون قرمز کوتاهموج را از طریق یک سیستم نوری مهندسی شده عبور میدهیم تا میدان حرارتی را با کنترل فضایی زیر میلیمتری شکل دهیم. نتیجه، یکنواختی دمایی در سطح ویفر با دقت ±0.1°C در طول پنجره فرآیند است و تکرارپذیری که در شیفتهای مختلف و دستههای مختلف حفظ میشود. پروفایلهای نرمپخت و سختپخت پایدار باقی میمانند، کنترل ابعاد دقیقتر میشود و بودجه حرارتی در محدوده مشخص باقی میماند. در طول بیش از 5000 ساعت، خروجی با کمتر از 5% انحراف شدت ثابت میماند و این سیستم برای کار 24/7 بدون توقف غیرمنتظره طراحی شده است.
چرا برای خشک کردن نیمههادیهای با بازده بالا مناسب است
این هیترها بر اساس واقعیتهای خشک کردن ویفرهای تولید طراحی شدهاند: تولید صفر ذره، سازگاری با اتاق تمیز از کلاس 1 تا کلاس 100 و نشستن سریع حرارتی که زمان چرخه را کاهش میدهد بدون اینکه بر روی فیلمها فشار بیاورد. پاسخ مادون قرمز فوری و تمیز است، بنابراین حلالهای باقیمانده به طور یکنواخت خارج میشوند و حذف لبههای ویفر قابل پیشبینی میماند. شما در نهایت با پنجرههای فرآیندی تنگتر، تعداد بازکاری کمتر و انرژی کمتر در هر ویفر مواجه میشوید زیرا حرارت در صورت نیاز ارائه میشود—بدون توده حرارتی هدر رفته.
نکات نصب و عملکرد
انتظار یکپارچگی منظم را داشته باشید. هیتر باید به محور نوری محفظه خشککن همراستا باشد و خنککننده باید به جریان و دمای مشخص شده برسد. عدم همراستایی یا خنککنندگی ناکافی یکنواختی را کاهش میدهد. قبل از نصب، تطابق ولتاژ و اتصال را با پلتفرم خود تأیید کنید. سپس برنامهریزی برای بازرسیهای منظم امیترها در فواصل توصیه شده را انجام دهید تا آن یکنواختی ±0.1°C در جایی که نیاز است حفظ شود.