در فرآیند لیتوگرافی، نمیتوان اجازه داد که دمای محفظه حاوی فوتورزیست تغییر کند. تغییرات دما منجر به ایجاد ذرات باقیمانده، آسیب به الگوهای تولید شده، و کاهش بازدهی فرآیند میشود. ما هیتر مخصوصی ساختهایم تا دمای فرآیند را در حد مطلوب نگه دارد؛ به این ترتیب، شیمیاییهای مورد استفاده میتوانند وظیفه خود را به خوبی انجام دهند و ویفرها تمیز بیرون آیند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ این دستگاه از حرارتدهی هالوژنی با امواج کوتاه، از طریق پنجره کوارتزی، استفاده میکند؛ بنابراین واکنش سریعی اتفاق میافتد و خروجی دستگاه ثابت باقی میماند. یکنواختی دما در سراسر ویفر، در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، قابلیت تکرار فرآیند نیز بالا است. بدنه هیتر با محیطهای پاکسازی شده در کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین، تمام سطوح دستگاه به گونهای طراحی شدهاند که تولید ذرات کم شود. در عمل، این امر منجر به کاهش نقصها، کنترل بهتر کیفیت، و نتایج قابل اعتمادی میشود. این سیستم ۲۴/۷ کار میکند و هیچ وقفه غیرمنتظرهای ندارد؛ همچنین، میزان انرژی مصرفی در هر چرخه نیز در حد مشخصات مورد نظر باقی میماند.
چرا این روش در فرآیند فوتورزیست مؤثر است؟ مرحله حذف فوتورزیست، پس از مراحل حرارتدهی اولیه انجام میشود؛ در این مرحله، لایههای باقیمانده بسیار حساس هستند. هیتر ما، دمای محفظه را در حد مشخص نگه میدارد؛ بنابراین، مواد حلال به طور یکنواخت تبخیر میشوند و پلیمرها نیز به طور کامل حذف میشوند. این امر منجر به کاهش زمان لازم برای انجام فرآیند میشود؛ همچنین، انرژی مصرفی نیز کاهش مییابد. بازههای فرآیند گستردهتر میشوند، نیاز به تعمیرات کاهش مییابد، و فرآیند به خوبی ادامه مییابد.
نکاتی که باید در هنگام نصب در نظر گرفت:
باید ابعاد محفظه و رابطات اتصالی آن با دستگاه مطابقت داشته باشد؛ ما نقشههای ابعادی و جدولهای مربوط به اتصالات دستگاههای مختلف را فراهم کردهایم. هیتر تنها زمانی عملکرد بهینهای دارد که اتصالات محفظه مناسب باشد و جریان گاز نیز متعادل باشد. پس از تعمیرات، نیاز به یک دور گرمکردن کوتاه برای بازیابی تعادل دما وجود دارد. همچنین، باید تنظیمات لازم برای حفظ یکنواختی دما در حین استفاده از دستگاه انجام شود.