جلوگیری از آسیب رسیدن لامپهای مادون قرمز به ویفرها
در فرآیندهای تولید نیمههادی در مقیاس بالا، خراب شدن یک لامپ، صرفاً مشکل کوچکی نیست؛ بلکه یک فاجعه است.
وقتی که پوشش کوارتزی لامپ میشکند، تکههای شیشهای و قطعات فلزی به سمت ویفرها میافتند. این موضوع باعث آلودگی ویفرها میشود؛ چیزی که واقعاً نمیخواهیم با آن روبرو شویم. به همین دلیل است که ما سنسورها و لامپهای مادون قرمز خود را به این شکل طراحی میکنیم.
محدود کردن آسیبها
ما از کوارتز مصنوعی با خلوص بالا برای ساخت پوششهای لامپها استفاده میکنیم. چرا؟ چون این ماده میتواند در برابر گرما و سرمای شدید مقاومت کند و ترک نخورد.
اما ما در اینجا متوقف نمیشویم؛ ما یک پوشش محافظ یا لایه ویژه نیز اضافه میکنیم. این پوشش مانند یک تور محافظتی عمل میکند؛ در صورت خراب شدن فیلامنت، این پوشش تکههای شیشهای را جذب کرده و از برخورد آنها با ویفرها جلوگیری میکند. ویفرها در نتیجه سالم باقی میمانند.
فشار زیاد ندهید
وقتی که لامپها با حداکثر توان کار میکنند، به راحتی میتوان آنها را تا حد مرزی فشار داد. ما مطمئن میشویم که توان و ولتاژ لامپها به درستی تنظیم شده باشد تا الکترودها دچار گرمای بیش از حد نشوند.
اگر لامپ را بیش از حد فشار دهید، پوشش آن زودتر خراب خواهد شد. ما تعادلی بین دمای مناسب ویفرها و مقاومت کوارتز برقرار میکنیم.
تعادل مناسب
هیچ چیز کامل نیست؛ استفاده از پوشش محافظ به معنای کاهش کمی از قدرت انتقال امواج مادون قرمز است. اما این کار، قیمت کوچکی است که باید پرداخت شود. در مقایسه با این، از بین رفتن کل مجموعه ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری به دلیل چند تکه شیشه، یک خسارت بزرگ است.
نصب صحیح
بسیاری از لامپها در نقاط اتصال خراب میشوند؛ معمولاً به دلیل اتصالات ناقص. ما از اتصالات استاندارد برای اطمینان از اتصال مناسب استفاده میکنیم.
پس از اتصال، جریان هوای خنککننده را بررسی کنید؛ اگر هوای کافی برای خنککردن لامپ وجود نداشته باشد، عمر لامپ کوتاه خواهد شد. اگر جریان هوا منظم باشد، کوارتز لامپ میتواند مدت زمان بیشتری دوام داشته باشد.