בחדר הייצור, ערכי האליפסומטריה תלויים רק בטמפרטורה של הפרווה. שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום יגרום לשינוי בעובי הפוטורזיסט וב-CD, וזה עלול לגרום לכך שהוואפר לא יעמוד בתנאים הנדרשים. יצרנו מערכת חימום לפרווה שמאפשרת עבודה ללא כל סטייה – האחידות של הטמפרטורה על פני הוואפר נשארת בטווח של ±0.1°C, כך שהמדידות יהיו אמינות ולא יושפעו משינויי הטמפרטורה.
מה חשוב באמת? המערכת משתמשת ברכיבים בעלי מסה תרמית נמוכה ומותאמים לטווח האור הקרוב, יחד עם מסלול תרמי מקוורץ, כדי למנוע שינויי טמפרטורה על פני הוואפר. נקודות העצירה של הטמפרטורה נשארות בטווח של ±0.1°C, ושליטה בקצב החימום מאפשרת שמירה על טמפרטורה קבועה של הפוטורזיסט. חוקי החדר הנקי נשמרים – החומרים והחלקים המשמשים במערכת נבחרו כך שיתאימו לסטנדרטים של חדרים נקיים מסוג 1–100. העיצוב של המערכת מונע היווצרות של חלקיקים במהלך העבודה. היצוא של המערכת נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי בעוצמה של פחות מ-5% במהלך הפעולה הרציפה.
למה זה חשוב בתהליך הליתוגרפיה? בתהליך הליתוגרפיה, מערכת החימום מאפשרת שמירה על תנאי טמפרטורה קבועים בנקודת המדידה, כך שלא יהיו שינויים כתוצאה מהטמפרטורה שגורמים לצורך בעבודה נוספת. זה מאפשר שליטה טובה יותר ב-CD, וכך ניתן לתכנן את זמן העבודה בצורה טובה יותר. בנוסף, המערכת חוסכת אנרגיה בזכות היציבות שלה, מבלי לפגוע בדיוק שלה.
מה צריך לעשות כדי שהמערכת תעבוד כראוי? המערכת זקוקה לאספקת אנרגיה נקייה ומסוננת, וכן להתאמה מכנית מדויקת לאינטרפייס של הפרווה – אי-התאמה עלולה לגרום לשינויי טמפרטורה בקנה מידה של מיקרונים. המערכת יכולה להתחבר לאינטרפייסים סטנדרטיים, אך יש לקבוע את החיבורים וההתקנה המתאימים למערכת האליפסומטריה שלכם. יש לתכנן תקופת בדיקה קצרה כדי לשנות את ההגדרות של ה-PID עבור ערימת הוואפרים שלכם.