בחדרי הייצור, אתם יודעים כמה מהר יכולה שינוי של 0.5°C במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט לפגוע בממדים החשובים של החומר, ולגרום לבזבוז רב של חומרים. פיתחנו את מערכת הסרטים התרמיים בטמפרטורות גבוהות שלנו כדי להסיר את אי-הוודאות הזו.
מה חשוב מבחינה טכנית? המערכת מאפשרת יציבות של ±0.1°C בכל שטח הוואפר, באמצעות קרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר, יחד עם מערכת מדידה אוטומטית שמאפשרת שליטה מדויקת בטמפרטורה, בלי לחרוג מהערך הרצוי. המערכת מיועדת לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והיא משתמשת בחומרים שמפיקים כמויות קטנות של גזים, ובמערכת לשליטה בחלקיקים שמונעת עלייה במספר החלקיקים מעבר לרף המותר. פרופילי הפוטורזיסט נשארים עקביים ממחזור למחזור, מכיוון שהטמפרטורה נשלטת באופן מדויק – ולא נקבעת באופן שרירותי.
למה זה עובד בתהליך הליתוגרפיה? יציבות הטמפרטורה במהלך האפייה הרכה משפיעה ישירות על ניקוי החומרים ועל מתחי השכבה. העקביות באפייה הקשה משפיעה על ההידבקות של החומרים ועל עמידותם לחיתוך. מערכת שלנו שומרת על הערכים האלו, מה שמפחית את הצורך בעבודות תיקון, משפר את התפוקה, ומקטין את בזבוז האנרגיה על ידי שליטה מדויקת בטמפרטורה. כתוצאה מכך, יש שליטה טובה יותר בממדים של החומר, פחות פגמים, ואפשר לתכנן את תקופות התחזוקה בצורה יעילה יותר – במילים אחרות, תפוקה גבוהה יותר, בלי צורך בשליטה מתמדת בטמפרטורה.
כמה הערות פרקטיות: ההתקנה דורשת התאמה של עוצמת הזרימה של האוויר ושל מערכות הבידוד מהרעידות למאפיינים של המכשיר. אם הצינורות אינם מותאמים, עלולות להיווצר תנודות בזרימת האוויר, מה שפוגע בעקביות. החימום יכול לעמוד במחזורי חימום חוזרים, אך בתנאי טמפרטורות גבוהות ותפוקה גבוהה, יש צורך בבדיקות תקופתיות של ממשק הסרטים התרמיים כדי לשמור על איכות ההידבקות. אם המערכת מותאמת לתהליך הייצור שלכם, היא תפעל כפי שהיא אמורה.