על רצפת הייצור, הסטייה התרמית במהלך ייבוש הוופרים היא הדבר היחיד שכלאי ליתוגרפיה פשוט לא יכולים להרשות לעצמם. אפילו כמה מעלות של חוסר אחידות על פני שטח הפוטו-רזיסט יובילו לשגיאות חפיפה ויפגעו ביבול. בנינו את מחממי הייבוש התעשייתיים שלנו כדי להסיר את המשתנה הזה מהשולחן.
דיוק אינפרה אדום: שליטה בתת-מילימטר שעליה ניתן לסמוך
אנו מפעילים משדרי אינפרה אדום קצרי גל דרך מערכת אופטית מתוכננת כדי לעצב את השדה התרמי עם שליטה בתת-מילימטר. התוצאה היא אחידות טמפרטורה ברמת הוופרים בטווח של ±0.1°C על פני חלון התהליך, וחזרה על תוצאות שמחזיקה ממסיבת משמרת למשמרת, מקבוצה לקבוצה. פרופילים של “בישול רך” ו"בישול קשה" נשארים יציבים, שליטת CD מתהדקת, והתקציב התרמי נשאר בתוך המפרט. במשך יותר מ-5,000 שעות, התפוקה נשארה יציבה עם פחות מ-5% סטיית אינטנסיביות, והמערכת תוכננה לפעול 24/7 ללא השבתות לא מתוכננות.
למה זה מתאים לייבוש חצי מוליכים עם יבול גבוה
מחממים אלו תוכננו על סמך המציאות של ייבוש וופרים בתהליך ייצור: אפס ייצור חלקיקים, תא נקי עם תאימות מדרגה 1 ועד מדרגה 100, ויישוב תרמי מהיר שמקצר את זמן המחזור מבלי להעמיס על הסרטים. התגובה אינפרה אדומה היא מיידית ונקייה, כך שהמסיסים שנותרים מוסרים באופן אחיד, והסרת קצה סרט נשארת צפויה. אתה מסיים עם חלונות תהליך צמודים יותר, פחות תיקונים, ואנרגיה נמוכה יותר לכל וופר כי החום מועבר לפי דרישה—בלי מסה תרמית מבוזבזת.
הערות התקנה והפעלה
צפה לשילוב ממושמע. על המחמם להיות מיושר עם הציר האופטי של תא הייבוש, והקירור חייב לעמוד בזרימה ובטמפרטורה המוגדרות. חוסר יישור או קירור בלתי מספיק יפגעו באחידות. לפני ההתקנה, אשר תאימות מתח וחיבור עם הפלטפורמה שלך. לאחר מכן, תכנן בדיקות שוטפות של המשדרים בהתאם לאינטרוול המומלץ כדי לשמור על אותה אחידות של ±0.1°C במקום שבו היא צריכה להיות.