במכונה, נורת ייבוש ופרי מתה בשעה 3 בבוקר אינה “תחזוקה”. זהו עצירה של קו. טמפרטורות האפייה הרכה והקשה מתחילות לסטות, פרופילים של חומר הצילום משתנים, וספירות חלקיקים קופצות. הדבר הבא שאתה יודע, אתה מתבונן על פסולת, עבודה מחדש, והתחלות ופרי אבודות. בנינו את הנורות המחליפות שלנו כדי למנוע את הרגע הזה. מה שחשוב מתחת למכסה המנוע הנורה מכילה משדרי אינפרא אדום קצר גלי (SWIR) בתוך מעטפת קוורץ, מכוונת לשחרר חום ישירות אל שלב הווייפ—מהר וישר. אנו שומרים על יציבות הפלט ב±0.1°C על פני משטח האפייה, כך שהטמפרטורה של חומר הצילום נשארת נעולה לפי המתכון, מחזור אחרי מחזור. היא בנויה לחיים במכונה 7×24: חיים מדורגים מעל 5,000 שעות, עם ירידת פלט מתחת ל-5% במהלך הפעלת הנורה. חומרים תואמים חדר נקי והרכבה ממוזגת חלקיקים שומרים על הסיכון לזיהום נמוך היכן שזה חשוב—סביבות Class 1–100. למה זה חשוב בליתוגרפיה בליתוגרפיה, אחידות האפייה היא התקציב התרמי. נורה זו מייצבת את עקומת האפייה, מפחיתה את השונות בצורת הקו ובעובי שמופיעה כשיש נקודות חמות או קצוות קרים. התמורה היא פחות חריגות, תשואת מעבר ראשונה גבוהה יותר, וזמן תחזוקה שתוכל לתכנן סביבו. צריכת האנרגיה מותאמת לעומס התרמי של הייבוש, כך שאינך מאיר את השלב יותר ממה שנדרש. פרקי שירות ארוכים יותר משמעותם שהצוות שלך מבלה פחות זמן בהחלפת נורות ויותר זמן על שליטה בתהליך. הנה מה שאתה צריך לעשות נכון בהתקנה התאם את סוג הבסיס, המחבר, והסובלנות של ההתקן. לאחר מכן, ודא שהמתח והיישור האופטי מתאימים לגיאומטריית המפזר של הייבוש. הנורה פועלת בטמפרטורה גבוהה, לכן שמור על ניהול תרמי תקין—אל תעבור על מיגון או זרימת אוויר. צפה בחימום קצר לפני שתגיע לחזרת נקודת ההגדרה. כדי להבטיח תאימות מלאה, התאם את הפרופיל הספקטרלי למפרט הציוד המקורי.