फोटोरेसिस्ट बेकिंग के दौरान 0.5°C का भी अंतर, महत्वपूर्ण आयामों पर गंभीर प्रभाव डाल सकता है; इससे बहुत सारा सामान बर्बाद हो जाता है। हमने ऐसी उच्च-तापमान वाली थर्मल टेप सिस्टम विकसित की है, ताकि ऐसी अनिश्चितताओं को दूर किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
यह प्लेटफॉर्म, शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग करके वेफर पर ±0.1°C की स्थिरता बनाए रखता है। इसमें क्लोज्ड-लूप पाइरोमेट्री भी शामिल है, जिससे सेटपॉइंट को सही तरीके से नियंत्रित किया जा सकता है। यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों के लिए उपयुक्त है; इसमें कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, ताकि कणों की संख्या नियंत्रण में रहे। फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता हर बार समान रहती है, क्योंकि थर्मल बजट को ठीक से नियंत्रित किया जाता है – न कि अनुमान लगाकर।
लिथोग्राफी में इसका क्या लाभ है?
“सॉफ्ट बेक” के दौरान तापमान की स्थिरता, विलायकों के निष्कासन एवं फिल्म के तनाव पर सीधा प्रभाव डालती है। “हार्ड बेक” की पुनरावृत्ति, फिल्म की चिपकने की क्षमता एवं एटच-प्रतिरोध पर प्रभाव डालती है। हमारा सिस्टम इन सभी प्रक्रियाओं को नियंत्रित करता है; इससे पुनर्कार्य कम होता है, उत्पादन में सुधार होता है, एवं ऊर्जा की बर्बादी भी कम होती है। इससे CD नियंत्रण बेहतर होता है, दोष कम होते हैं, एवं रखरखाव के लिए उचित समय भी निर्धारित किया जा सकता है… दूसरे शब्दों में, बिना किसी अनिश्चितता के उच्च उत्पादन हो पाता है।
कुछ व्यावहारिक सुझाव
इस सिस्टम की स्थापना के लिए, आपको अपने एक्जॉस्ट सिस्टम एवं वाइब्रेशन-इन्सुलेशन सिस्टम को उपकरण के आकार के अनुरूप ही व्यवस्थित करना होगा। अनुपयुक्त व्यवस्था से हवा का प्रवाह अस्थिर हो जाता है, जिससे स्थिरता प्रभावित होती है। हीटर, बार-बार होने वाले थर्मल चक्रों को सहन कर सकता है; लेकिन उच्च तापमान एवं उच्च उत्पादन दर की परिस्थितियों में, टेप की इंटरफेस की नियमित जाँच आवश्यक है, ताकि चिपकने की क्षमता बनी रहे। इसे अपनी प्रक्रिया के अनुसार ही व्यवस्थित करें, तो यह ठीक से काम करेगा।