फैब फ्लोर पर, हम फोटोरेजिस्ट को सिर्फ एक थर्मल प्रक्रिया के रूप में ही नहीं देखते। यह तो एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 2°C का अंतर भी सीडीओं की संरचना को प्रभावित कर सकता है; इससे इंटरफेस पर गंदगी जम सकती है, एवं उत्पादन प्रक्रिया में अनिश्चितता आ सकती है। मीडियम वेव क्वार्ट्ज हीटर ट्यूबें ही इस अनिश्चितता को दूर करने हेतु सबसे उपयुक्त समाधान हैं।
वास्तव में, वेफर स्तर पर नियंत्रण ही महत्वपूर्ण है। मीडियम वेव आईआर तरंगें फोटोरेजिस्ट एवं क्वार्ट्ज में आसानी से प्रवेश करती हैं; इससे तेज एवं सटीक तापन संभव होता है, एवं थर्मल इनर्शिया कम रहती है। इससे वेफर स्तर पर स्थिरता बनी रहती है, एवं तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। इसके अलावा, यह प्रक्रिया शिफ्ट-टू-शिफ्ट एवं लॉट-टू-लॉट में भी एकसमान रहती है। क्वार्ट्ज हीटर ट्यूबें भी स्वच्छ रहती हैं – उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करने से गैस निकलना कम हो जाता है, एवं कणों का निर्माण भी रुक जाता है। इससे संदूषण की समस्या नहीं रहती।
यह तो अर्धचालक प्रसंस्करण प्रक्रियाओं के लिए आदर्श ही है। लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में, मीडियम वेव तरंगें सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक हेतु तेज एवं सटीक तापमान व्यवस्था प्रदान करती हैं; इससे फोटोरेजिस्ट एवं उसके नीचे की परतों को नुकसान नहीं पहुँचता। क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों का पालन भी आसान ही है – यह तो जॉइंट्स, टर्मिनेशन्स एवं सतह की गुणवत्ता में ही शामिल है। 24/7 चलने पर भी हीटर अपने सेटपॉइंट पर ही रहता है; इससे प्रक्रिया अधिक प्रभावी एवं पूर्वानुमेय रहती है। इससे उत्पादन दर बढ़ती है, अपशिष्ट कम होता है, एवं पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
एक बात ध्यान में रखने योग्य है – मीडियम वेव क्वार्ट्ज हीटर तो गति एवं सटीकता प्रदान करते हैं, लेकिन इनके लिए उचित थर्मल कपलिंग एवं माउंटिंग आवश्यक है। सतही संपर्क एवं संरेखण भी बहुत महत्वपूर्ण है। यदि ऐसा न हो, तो हीटर स्थिर होने के बावजूद भी स्थानीय रूप से तापमान में अंतर आ सकता है। उचित फ्लैंज, गैस्केट एवं उपकरणों का उपयोग करें, एवं बेक चैंबर की ज्यामिति की जाँच भी करें, ताकि थर्मल पथ स्थिर रहे।