वैक्यूम आईआर हीटिंग बनाम हॉट एयर: क्यों यह बदलाव महत्वपूर्ण है?
यदि आप सेमीकंडक्टरों के गहन प्रसंस्करण का काम करते हैं, तो ऊर्जा को एक जगह से दूसरी जगह ले जाने में होने वाली कठिनाइयों के बारे में आपको पता ही होगा। लंबे समय तक हमने हॉट एयर का ही उपयोग किया। यह तो बहुत ही सरल तरीका है – गैस को गर्म किया जाता है, और वह गैस वेफर को गर्म करती है। लेकिन इसमें एक समस्या है… वैक्यूम में तो हॉट एयर ही नहीं भेजा जा सकता। ऐसी स्थिति में ही वैक्यूम-अनुकूल आईआर हीटरों का उपयोग किया जाता है। अब हम किसी माध्यम पर निर्भर नहीं रहते, बल्कि विकिरण का ही उपयोग करते हैं।
समय की बचत
वास्तव में, कंवेक्शन विधि बहुत ही धीमी है। आपको पूरे चेंबर के तापमान के स्थिर होने का इंतजार करना ही पड़ता है… यह हर बार समय की बर्बादी है। आईआर हीटर इस समस्या को दूर करते हैं… वे फोटॉनों को सीधे ही लक्ष्य तक भेजते हैं। इससे ऊष्मा प्राप्त करने में लगने वाला समय कई मिनटों से कम होकर कुछ सेकंड ही रह जाता है। ऐसे में उत्पादन दर भी बढ़ जाती है… क्योंकि अब समय की बर्बादी नहीं होती।
कुछ चुनौतियाँ
बेशक, वैक्यूम विधि में भी कुछ चुनौतियाँ हैं। सामान्य लैंपों से गैसें बाहर निकल जाती हैं… जिससे चेंबर की शुद्धता प्रभावित होती है। इसे रोकने हेतु हम विशेष क्वार्ट्ज आवरणों का उपयोग करते हैं। फिर ऊष्मा की तीव्रता की भी समस्या है… उच्च-घनत्व वाले आईआर हीटरों से तीव्र ऊष्मा पैदा होती है… लेकिन इससे सतह बहुत गर्म हो जाती है, जबकि भीतरी हिस्सा ठंडा ही रहता है। इसलिए PID कंट्रोलरों का सही उपयोग आवश्यक है… वरना उत्पाद क्षतिग्रस्त हो सकता है।
स्थान एवं ऊर्जा की बचत
सबसे अच्छी बात यह है कि ऐसे हीटरों के उपयोग से भारी ब्लोअरों, डक्टों एवं अन्य आवश्यक उपकरणों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती। ऐसे में मशीन का आकार भी कम हो जाता है… आप इन हीटरों को सीधे ही वैक्यूम चेंबर में रख सकते हैं।
लेकिन ध्यान रखें… आपके कूलिंग उपकरणों का आकार भी सही होना चाहिए… वरना सेंसरों पर अतिरिक्त ऊष्मा पड़ने से उनके पढ़ने के मान गलत हो जाएंगे… और आपको अनुमान ही लगाना पड़ेगा।