फैब फ्लोर पर, यदि ऊष्मा स्रोत में अस्थिरता हो, तो “बर्न-इन” प्रक्रिया का कोई मतलब ही नहीं रह जाता। चक में होने वाले कुछ डिग्री के उतार-चढ़ाव से ही खराब गुणवत्ता वाले उत्पाद बन जाते हैं… या फिर अच्छे उत्पाद भी बर्बाद हो जाते हैं। हमने ऐसी लैंपें विकसित कीं, ताकि ऐसी अस्थिरताओं को दूर किया जा सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज कवर के अंदर शॉर्ट-वेव हैलोजन तत्वों का उपयोग करते हैं; ये तत्व तापमान को नियंत्रित करने में मदद करते हैं। इससे एक्टिव बेकिंग जोन में ±0.1°C की सीमा में एकरूपता बनी रहती है… और हर बार एक ही तरह के परिणाम प्राप्त होते हैं। यह सिस्टम क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में आसानी से काम कर सकता है… और स्थिर अवस्था में तो कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता। 24/7 कार्य करने पर भी आउटपुट स्थिर रहता है… 5,000 घंटों के बाद भी उतार-चढ़ाव 3% से कम ही रहता है… इससे ऊष्मा संबंधी लागतें नियंत्रित रहती हैं।
“बर्न-इन” प्रक्रिया में इन लैंपों की भूमिका क्या है?
“बर्न-इन” प्रक्रिया में ऐसी ऊष्मा आवश्यक है, जो तेजी से पहुँचे, स्थिर रहे… और कोई अवशेष न छोड़े। ये लैंप जल्दी ही लक्ष्य तापमान तक पहुँच जाते हैं… ऊष्मा संबंधी अस्थिरताओं को कम करते हैं… और फोटोरेजिस्ट पर कोई नकारात्मक प्रभाव नहीं पड़ता। इससे रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है… कचरा कम हो जाता है… और पहली ही बार में अच्छी गुणवत्ता वाले उत्पाद प्राप्त होते हैं। हम ऊर्जा के उपयोग को भी नियंत्रित रखते हैं… इससे ऑपरेशनल लागतें कम हो जाती हैं… बिना उत्पादन दर में कमी के।
कुछ महत्वपूर्ण बातें…
ये लैंप सामान्य “बर्न-इन” उपकरणों में ही उपयोग में आ सकते हैं… लेकिन वेफर के समतल स्तर के साथ इनका संरेखण अत्यंत महत्वपूर्ण है। माउंटिंग त्रुटियाँ एवं रिफ्लेक्टरों की ज्यामिति बहुत ही सटीक होनी चाहिए… थोड़ी सी भी यांत्रिक त्रुटि से एकरूपता प्रभावित हो जाती है। अपने विशिष्ट कैरियर एवं वेफर स्टैक के लिए ऊष्मा संबंधी प्रोफाइल को ठीक करने हेतु थोड़ा समय निकालें।