Smettete di riscaldare le pareti dell’armadio in cui sono installati i dispositivi di asciugatura o cura dei semiconduttori.
Se avete mai costruito una stazione per l’asciugatura o la cura dei semiconduttori, conoscete bene i problemi legati a questo aspetto. Le pareti dell’armadio rappresentano davvero un problema: i tradizionali riscaldatori a infrarossi emettono calore in tutte le direzioni. La maggior parte di questo calore non raggiunge nemmeno il wafer, ma finisce per colpire le pareti interne della macchina. Questo provoca un eccessivo riscaldamento dell’intero sistema. Il chassi della macchina diventa così caldo da poter causare ustioni agli operai; quindi è necessario utilizzare ventilatori di raffreddamento potenti per evitare che tutto vada in pezzi.
Ecco come risolviamo questo problema.
Invece di utilizzare semplicemente tubi di quarzo, utilizziamo tecnologie a infrarossi direzionali. Immaginatevi di passare da una lampadina normale a una torcia: in questo modo, possiamo indirizzare l’energia infrarossa esattamente dove è necessaria. Riducendo la larghezza del fascio di luce, evitiamo di sprecare energia sulla “superficie esterna” degli apparecchi. Il calore va direttamente sul prodotto da trattare. Punto.
Meglio per chi gestisce le macchine.
Questo sistema migliora notevolmente le condizioni di lavoro. Poiché il calore viene concentrato in un punto specifico, le pareti interne rimangono più fresche. Non c’è più il rischio che gli operatori si brucino durante le operazioni di manutenzione. Inoltre, non è più necessario utilizzare strati spessi di isolamento termico, che occupano troppo spazio all’interno dell’armadio. In questo modo, l’intero sistema diventa più efficiente.
L’unica complicazione… e come affrontarla.
C’è però uno svantaggio: quando il fascio di luce è concentrato, la densità di calore aumenta notevolmente. Se il bersaglio non è preciso, si possono creare zone troppo calde sul substrato. Per evitare problemi, consigliamo di abbinare questi dispositivi a un controllore PID a circuito chiuso. Questo permette di regolare l’intensità del calore in base alla temperatura effettiva della superficie. Inoltre, l’uso di un trigger ad alta frequenza assicura che il controllo del calore sia preciso. In questo modo, si ottiene una macchina che rimane fredda e un prodotto che riceve esattamente il calore di cui ha bisogno.