Smettete di permettere ai vostri sistemi di riscaldamento di rovinare la qualità dei vostri wafer.
Se operate in una sala pulita di classe 100, sicuramente conoscete già le regole riguardanti la filtrazione dell’aria. Ma c’è un problema: le fonti di calore rappresentano spesso la causa principale di danni ai wafer.
La maggior parte degli elementi riscaldanti standard produce particelle minuscole e invisibili, che comunque influiscono negativamente sulla qualità dei wafer. Ed è qui che entrano in gioco le lampade a raggi infrarossi in quarzo di alta purezza.
Perché il quarzo funziona davvero bene
Abbiamo scelto il quarzo di alta purezza per un motivo semplice: non si sbriciola in polvere quando diventa caldo. A differenza degli elementi riscaldanti tradizionali, queste lampade utilizzano radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda. Il calore viene trasmesso direttamente al bersaglio, senza perdere tempo ad riscaldare l’aria circostante. In questo modo si evitano le correnti convettive che potrebbero sollevare polvere dal pavimento. Inoltre, i tubi di quarzo vengono fusi a temperature estreme, in modo da eliminare eventuali residui organici prima che la lampada possa essere utilizzata. Così, quando la lampada raggiunge la temperatura di funzionamento, non si verifica alcuna emissione di gas nocivi.
Dimensioni ridotte, calore elevato
Queste lampade sono state progettate per funzionare rapidamente. Grazie alla grande potenza concentrata in uno spazio ridotto, si ottiene la densità di calore necessaria per la cottura e l’essiccazione dei wafer, senza dover utilizzare forni enormi che occupano molto spazio. Se osservate attentamente i sigilli dei terminali elettrici, noterete che abbiamo dedicato molta attenzione a questi particolari. Utilizziamo sigilli speciali in vetro e metallo per mantenere il gas allogenato all’interno della lampada. Se tale sigillo dovesse rompersi, la lampada sarà distrutta immediatamente. Abbiamo progettato questi componenti in modo che non si rompano durante l’utilizzo quotidiano.
I punti negativi e come affrontarli
Il quarzo di alta purezza è piuttosto delicato: ama il calore, ma odia essere urtato. È fragile. Se lo trattate male durante l’installazione, o se la macchina è soggetta a vibrazioni eccessive, la lampada potrebbe rompersi. Assicuratevi che i supporti di montaggio siano ben isolati. Un’altra cosa importante: le radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda sono molto intense. Assicuratevi che gli schermi utilizzati siano adatti a quella specifica lunghezza d’onda. Altrimenti, potreste danneggiare i sensori vicini o far sciogliere alcuni componenti in plastica presenti nella macchina.