ヒーターによって水素センサーが壊れるのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームで働いたことがある人なら、そのストレスがどれほど大きいかわかるでしょう。見えないほど微細なほこり一つでも、大量の水素センサーが台無しになってしまいます。
問題は、ほとんどの加熱要素が実質的に汚染源だということです。加熱されると、それらの部品は剥がれ落ちたり、奇妙なガスを放出したりします。敏感な素材を扱う際には、これは大変な問題です。
そこで私たちは、高純度の石英製のIRランプを使用することでこの問題を解決しようとしました。
なぜ石英なのか？
私たちは合成された高純度の石英を使用しています。なぜなら、石英は安定しており、高温になっても分解したり、揮発性有機化合物を放出したりしないからです。
多くの工業用ランプでは安価なガラスが使われていますが、そのようなランプは最初の数回の加熱過程で「煙」を出したり、微小な破片が飛び散ったりします。私たちのランプは、お客様の手元に届く前に、表面の残留物を完全に洗浄されています。つまり、ウェーハに不要なものが付着することはありません。
IRの素晴らしさ
興味深いのは、赤外線加熱は直接放射によって行われるという点です。センサーの周囲の空気を加熱しようとするのではなく、対象物自体を直接加熱します。つまり、強制送風を使う必要がなくなります。ファンによって床のほこりが舞い上がったり、層流が乱れたりする心配もありません。
速度も速いです。熱が集中するため、急速に温度が上昇します。その結果、汚染物質が作業場に入り込む時間が大幅に短縮されます。
注意すべき点
もちろん、高純度の石英も完全に壊れないわけではありません。それは脆いのです。一般的なガラスよりは耐熱性が高いですが、頑丈な鋼鉄のように扱うことはできません。取り付けブラケットを過度に締め付けると、石英が膨張して割れてしまいます。石英には十分な余裕を与える必要があります。
私たちはこれらのランプを特別にクリーンルーム用に設計しています。つまり、接着剤や安価なプラスチック、ガスを放出するようなものは一切使われていません。純粋な石英と高品質の電極だけが使われています。
正しい配線を行い、冷却機能を適切に管理すれば、邪魔にならない理想的な加熱源が得られます。