リソグラフィーの工程においては、フォトレジスト処理室の温度が不安定になることは許されません。温度のばらつきは、残留物やパターンの損傷といった問題を引き起こし、その結果、回復不可能な損失が生じます。私たちは、プロセス温度を一定に保つためのヒーターを開発しました。そうすることで、化学反応が適切に進行し、ウェーハもきれいな状態で得られます。
重要なポイント この装置は、石英製の窓を通して短波長のハロゲン光を利用して加熱するため、応答速度が速く、出力も安定しています。ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃以内に保たれ、繰り返し処理時でもばらつきが少ないため、ベイクプロファイルが変動することはありません。ヒーター本体はクリーンルームのクラス1～100に対応しており、すべての表面が加工されているため、粒子の発生を抑えることができます。実際には、これにより欠陥が減少し、CDの制御精度が向上し、信頼性の高い処理結果が得られます。このシステムは24時間365日稼働し、予期しない停止はありません。また、1サイクルあたりの熱的負荷も規定値内に収まっています。
なぜこれが実際のフォトレジスト処理で効果的か ストリップ処理は、ソフトベイクやハードベイクの後に行われます。この段階では残存する薄膜が非常に敏感に反応するため、ホットスポットやコールドエッジが問題を引き起こします。私たちのヒーターは、チャンバーの温度を設定値に厳密に保ちます。そうすることで、溶剤が均一に蒸発し、ポリマーもきれいに除去されます。また、昇温が制御されているため、処理時間が短縮され、ヒーターが迅速に加熱されてから安定するため、エネルギーの節約にもつながります。その結果、処理の幅が広がり、再作業が減少し、生産ラインがスムーズに稼働するのです。
設置時に注意すべき点 チャンバーの寸法や接続端子の形状を正しく合わせる必要があります。一般的なストリップツール用の寸法図やピン配置図も提供しています。ヒーターが本来の性能を発揮するためには、チャンバーの密封が良好であり、ガスの流れが均一である必要があります。メンテナンス後は、プロファイルを再び安定させるために短時間のウォームアップが必要です。統合時には、指定された温度均一性を維持するために正確な調整が必要です。