製造現場において、熱源が不安定であれば、バーンイン処理の効果は全く期待できません。チャックの位置が数度でもずれると、品質の悪いデバイスが出来上がってしまったり、良品が捨てられてしまうことになります。私たちは、このような不安定性を解消するために、このバーンイン用ランプを開発しました。
内部構造が重要な理由 このランプでは、石英製のケースの中に短波長のハロゲン素子が搭載されており、温度を迅速に調整し、一定に保つことができます。その結果、アクティブベイクエリア内のウェーハ全体で±0.1℃の均一性が実現され、繰り返し運転してもソフトベイクやハードベイクのパラメータが一定に保たれます。このシステムはクラス1からクラス100の清浄室でも問題なく動作し、定常状態になれば粒子の発生もありません。24時間365日稼働しても出力は安定しており、5,000時間経過後でも温度の変動は3％未満です。つまり、熱管理が容易になります。
バーンイン処理での利点 バーンイン処理には、迅速かつ安定した加熱が必要であり、余分な汚れが残ってはいけません。このランプは、所定の温度に迅速に到達し、熱の安定化時間を短縮し、フォトレジストに悪影響を与えるような過剰な加熱を防ぎます。その結果、再作業が減少し、スクラップが減り、初回の歩留まりが向上します。また、効率的な放射熱伝達と厳密な熱制御により、エネルギー消費を抑えることができ、生産性を低下させることなくコストを削減できます。
いくつかの注意点 このランプは、標準的なバーンイン装置やプローブステーションに簡単に取り付けられますが、ウェーハ面との位置合わせは非常に重要です。取り付けの許容誤差や反射板の形状も厳格に管理されているため、わずかな機械的な誤差でも均一性が損なわれます。特定のキャリアやウェーハスタックに最適な熱プロファイルを確立するために、短い試運転を行うことをお勧めします。