MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

赤外線を使ったMEMSウェーハの乾燥：効率的な方法 MEMSセンサーを製造する際に最も避けたいのは、わずかな水分や溶剤の汚れが微細な構造を壊してしまうことです。これは非常に微妙なバランスが求められます。ウェーハを完全に乾燥させる必要がありますが、単純に熱を当ててみるだけでは不十分です。 そのため、...