히터가 웨이퍼의 품질을 해치는 것을 막으세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 공기 여과에 대해서는 이미 잘 알고 있으실 것입니다. 하지만 문제는, 열원들이 사실상 웨이퍼의 품질을 해치는 주범이라는 점입니다.
대부분의 일반적인 가열 요소들은 먼지를 발생시킵니다. 그러한 미세한 입자들은 보이지 않지만, 웨이퍼에는 분명히 영향을 미칩니다. 이때 바로 고순도 합성 석영 적외선 램프가 유용합니다.
석영이 효과적인 이유
저희가 고순도 석영을 사용하는 이유는 간단합니다. 열이 가해져도 석영이 부서지지 않기 때문입니다.
무거운 금속 외장을 가진 가열기와 달리, 이 램프는 단파 적외선을 사용합니다. 따라서 열이 직접 목표물에 전달됩니다. 주변 공기를 가열하는 데 시간이 낭비되지 않아, 바닥에 있는 먼지가 날아오르는 것을 막을 수 있습니다.
게다가, 석영 튜브는 엄청난 온도에서 복합 처리됩니다. 그래서 램프가 작동하기 전에 모든 유기물 잔여물이 제거됩니다. 그래서 작동 온도에 도달했을 때, 불쾌한 냄새나 먼지가 발생하지 않습니다.
작은 크기로도 강력한 열량
저희는 속도를 고려하여 이 램프를 설계했습니다.
작은 공간 안에 많은 에너지를 담아낼 수 있어, 거대한 오븐 없이도 웨이퍼를 건조시킬 수 있습니다.
전극 밀폐 부분을 자세히 살펴보면, 저희가 얼마나 신경을 썼는지 알 수 있습니다. 특수한 유리-금속 밀폐 장치를 사용하여 내부의 할로겐 가스가 새어나가지 않도록 합니다. 만약 밀폐 장치가 무너지면, 램프는 즉시 파괴됩니다. 저희는 이 부분을 특별히 설계하여, 열이 계속 변화할 때에도 균열이 생기지 않도록 했습니다.
단점과 그 해결 방법
고순도 석영은 다소 까다로운 소재입니다. 열을 좋아하지만, 충격을 받으면 쉽게 부서집니다. 설치할 때 조심해야 하며, 기계가 많이 진동한다면 석영이 부서질 수 있습니다. 마운팅 브라켓에 충격 방지 장치가 있는지 반드시 확인하세요.
또한, 단파 적외선은 매우 강력합니다. 반드시 해당 파장에 적합한 차폐 장치를 사용해야 합니다. 그렇지 않으면 주변의 센서가 손상되거나, 도구의 플라스틱 부품이 녹을 수 있습니다.