글로브박스 내에서의 열 낭비를 멈추세요.
만약 글로브박스 안에서 실리콘 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면, 그 답답함을 잘 알 것입니다. 에너지를 투입하지만, 그 에너지의 상당 부분이 그냥 사라져버립니다. 일반적인 IR 소자는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 그중 절반은 기판 대신 챔버의 벽에 닿습니다. 이는 에너지와 시간의 낭비입니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 히터에 금으로 코팅된 반사체를 장착하는 것입니다.
왜 금일까요?
간단합니다. 금은 알루미늄이나 연마된 강철보다 적외선을 훨씬 더 잘 반사합니다. 따라서 열이 하드웨어에 흡수되는 대신, 금 층이 그 적외선을 다시 웨이퍼 쪽으로 반사해줍니다.
이렇게 하면 흩어진 열원이 집중된 열로 변합니다. 원하는 곳에 정확하게 열을 전달할 수 있습니다.
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 웨이퍼에 너무 많은 열이 전달되기 때문에, 램프 자체도 매우 뜨거워집니다. 이는 타협점입니다. 글로브박스의 환기나 방열 장치를 꼼꼼히 확인해야 합니다. 만약 램프 주위의 공기 흐름이 충분하지 않다면, 회로가 손상되거나 연결부가 녹을 위험이 있습니다.
좋은 소식은 이러한 부품들을 그대로 교체하기만 하면 된다는 것입니다. 전체 시스템을 다시 조립할 필요가 없습니다. 금으로 코팅된 부품만 교체하면, 모든 에너지가 제대로 활용됩니다. 목표 온도에 도달하는 데 걸리는 시간도 줄어들고, 전력 소모도 훨씬 줄어듭니다.
고정밀 열 처리가 필요한 경우에는 이 방법이 특히 유용합니다. 웨이퍼 전체에 더 균일하게 열이 분배됩니다. 더 이상 열이 집중되는 현상도 없습니다. 적절한 PID 컨트롤러와 함께 사용하면, 원하는 오차 범위를 유지할 수 있습니다.