IR 가열과 열공기 가열의 차이점: 왜 웨이퍼 처리 속도가 느린가? 만약 여전히 반도체 정밀 가공에 열공기를 사용하고 있다면, 아마도 대기하는 데 너무 많은 시간을 낭비하고 있을 것입니다. 열공기 가열은 대류 방식을 이용하기 때문에, 웨이퍼가 따뜻해지기 전에 먼저 챔...

Role 당사 클린룸 현장에서 웨이퍼 검사 중 온도 편차는 치명적인 치수 변화를 일으키고, 다량의 불량을 초래하며, 수시간에 달하는 리소그래피 시간을 소모시킬 수 있다. 이를 방지하기 위해 검사 장비용 히터를 설계했다. 단파 적외선을 사용해 서브밀리미터 수준의 균일성...