Pada lantai wafer, langkah pembakaran dan pengerasan pelekat adalah penentu utama hasil barisan pengeluaran. Peralihan 1.5°C dalam profil pembakaran keras boleh menyebabkan banyak wafer 200mm menjadi barang rosak. Anda memerlukan haba yang tepat pada lokasi yang ditetapkan dalam resipi, setiap syif.
Apa yang penting, secara teknikal
Modul pengerasan inframerah kami mengekalkan keseragaman terma pada tahap wafer ±0.1°C merentasi substrat, dengan pengulangan suhu lot-ke-lot dalam lingkungan ±0.5°C. Pemancar menggunakan gelombang pendek inframerah, disesuaikan untuk menyamai penyerapan fotoresis dan gam semikonduktor. Ini mengurangkan kelewatan terma dan membolehkan peningkatan suhu yang pantas tanpa lebihan.
Sistem ini beroperasi di bilik bersih Kelas 1–100. Kami mengesahkan tiada penghasilan zarah pada kiraan sub-0.1 μm, dan sistem beroperasi 24/7 tanpa gangguan tidak dirancang. Penggunaan tenaga turun antara 25–35% berbanding pinggan panas konvensional, dan bajet terma yang lebih ketat memperluaskan julat proses.
Mengapa ia digunakan dalam litografi dan pembungkusan
Dalam litografi, anda menjalankan pembakaran lembut dan pembakaran keras dengan had masa-suhu yang ketat. Dalam pembungkusan, pengerasan gam mesti mencapai sasaran lekatan tanpa penghasilan gas. Inframerah memanaskan filem secara langsung, bukan pembawa, jadi kawalan dimensi kritikal menjadi lebih konsisten dan masalah beading tepi dapat dikurangkan.
Anda memendekkan masa kitaran, mengurangkan barang rosak, dan mengurangkan penyelenggaraan—tiada lagi peringkat pempanasan pinggan panas, tiada lagi sisa akibat pembakaran. Pada barisan pembungkusan, ketepatan yang sama memberikan pengisian bawah tanpa kekosongan dan profil pengerasan yang boleh diulang pada substrat 300mm.
Berikut adalah butiran praktikal
Pengerasan inframerah bergantung pada garis pandang, jadi bayangan mungkin muncul pada topografi tidak rata. Kami mengukur saiz susunan pemancar dan optik untuk disesuaikan dengan ketinggian lapisan dan profil ciri anda, dan kami mencadangkan ujian kelayakan pendek pada peranti representatif untuk mengunci profil terma.
Pemasangan memerlukan bekalan 240 V khusus dan sistem ekzos yang disahkan untuk bilik bersih. Integrasi ke dalam laluan sedia ada adalah mudah, tetapi selepas sebarang pertukaran alat, anda mesti mengesahkan semula set titik suhu.