Op de lithografieafdeling kan men zich geen thermische afwijkingen in de kamer waarin de fotoresist wordt verwerkt, veroorloven. Temperatuursverschillen kunnen leiden tot residuen, schade aan het patroon en een productiekwaliteit die niet meer kan worden hersteld. We hebben een heater ontworpen die de procestemperatuur nauwkeurig vasthoudt, zodat de chemische reacties op de juiste manier plaatsvinden en de wafer schoon blijft.
Wat belangrijk is onder de motorkap Het apparaat maakt gebruik van kortegolfhalogeenverwarming via een kwartsglasraam. Hierdoor is de respons snel en blijft de uitgangstemperatuur constant. Over de hele oppervlakte van de wafer wordt de thermische uniformiteit op ±0,1°C gehouden. De herhaalbaarheid blijft ook constant, zodat de temperatuur niet wijzigt na elke cyclus. Het behuizing van de heater is compatibel met cleanrooms van klasse 1–100. Alle oppervlakken zijn zo behandeld dat er zo min mogelijk deeltjes worden geproduceerd. In praktijk betekent dit minder defecten, een betere controle over de precisie en resultaten die betrouwbaar zijn. Het systeem werkt 24/7 zonder onverwachte stilstanden, en de thermische parameters blijven binnen de vereisten.
Waarom dit werkt in de echte fotoresistverwerking De stap van het verwijderen van de fotoresist vindt plaats na de zachte en harde droogprocessen. Op dat moment zijn de residueuze lagen gevoelig voor hitte- en koudegebieden. Onze heater houdt de temperatuur precies op het gewenste niveau, zodat de oplosmiddelen gelijkmatig verdampen en de polymeren schoon worden verwijderd. Hierdoor zijn de cyclustijden korter en wordt er minder energie verbruikt. De mogelijkheden voor verwerking nemen toe, er is minder herwerk nodig en de productielijn kan doorlopen.
Dingen waar je rekening mee moet houden bij de installatie Zorg ervoor dat de afmetingen van de kamer en de aansluitingen overeenkomen. We leveren dimensietekeningen en schema’s voor de meest gebruikte apparaten. De heater bereikt zijn maximale prestaties alleen wanneer de afsluitingen van de kamer goed werken en de gasstroom in balans is. Na onderhoud is het nodig om de temperatuur even op te warmen om de parameters weer stabiel te maken. Tijdens de integratie moet de alignering nauwkeurig worden ingesteld om de gewenste uniformiteit te behouden.