Op de productielocatie is een verschil van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist al voldoende om een hele lading producten te vernietigen. We hebben onze RTP-lamp zo ontworpen dat deze alle onzekerheden uit elke thermische stap wegneemt – zowel bij zacht als hard verhitten, en ook bij snel thermisch bewerken – zonder dat er risico’s voor de kwaliteit van het product ontstaan.
Wat belangrijk is: de lamp maakt gebruik van kortegolflange halogeen elementen die zich bevinden in een kwartsomhulsel. Hierdoor vindt de energieoverdracht snel en efficiënt plaats, met nauwkeurige controle over het spectrum. In het actieve gebied blijft de temperatuur op het wafer op een niveau van ±0,1°C. De herhaalbaarheid is zeer hoog, zodat de kwaliteit van de lithografie en de dikte van de dunne lagen consistent blijft, ongeacht welke lading wordt geproduceerd.
De lamp is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. De hardware en afsluitingen zorgen ervoor dat er geen deeltjes worden gegenereerd tijdens het normale gebruik. De stroomvoorziening is stabiel, en het is mogelijk om het thermische profiel precies af te stemmen op de gevoeligheid van de fotoresist, zonder dat dit invloed heeft op het thermische budget.
Waarom de lamp geschikt is voor productie: de opbrengst en de beschikbaarheid van de machine zijn cruciaal. Een hoge uniformiteit zorgt voor minder variatie in de dikte en dichtheid van de lagen, waardoor er minder herwerk nodig is. Snelle temperatuurregeling zorgt voor kortere cyclustijden, zonder dat het wafer onder druk komt te staan.
Energieefficiëntie zorgt voor lagere kosten per batch. Bovendien heeft de lamp een lange levensduur, waardoor er minder onderhoud nodig is. Het resultaat is consistente prestaties: één recept, één resultaat, shift na shift.
Er is één aspect waar je goed op moet letten tijdens de installatie: de lamp moet goed worden geïnstalleerd en optisch goed worden uitgelijnd. De lamp presteert het beste wanneer de montageoppervlakken schoon, koel en goed beschermd zijn.
Na duizenden uren kan de prestatie van de lamp afnemen. Daarom moet de lamp regelmatig worden gekalibreerd en gedraaid, zodat de uniformiteit behouden blijft. Als de fabriek 24/7 draait, is de lamp geen ‘eenvoudig te installeren apparaat’. Het is eerder een procesvariabele die net zoals alle andere processen goed moet worden beheerd.