Na linii produkcyjnej dane uzyskane za pomocą elipsometrii mają wartość tylko w takim stopniu, w jakim ma wartość temperatura sondy. Nawet niewielka zmiana temperatury o 1°C podczas procesu odparowywania może wpłynąć na grubość warstwy fotoopornika oraz na jej rozmiary, co z kolei może skutkować awarią płytki krzemowej. Stworzyliśmy grzejnik sondału elipsometrycznego, który pracuje przy zerowej tolerancji na takie odchylenia – jednorodność temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, dzięki czemu odczyty odzwierciedlają rzeczywisty przebieg procesu, a nie wahania temperatury.
Co jest ważne w tym urządzeniu?
Grzejnik wykorzystuje element o niskiej masie cieplnej oraz optymalizowany pod kątem działań w zakresie światła podczerwonego, a także elementy z kwarcu, aby uniknąć gradientów temperatury na powierzchni płytki. Wartości temperatury mogą być ustalone w zakresie od 25°C do 300°C, przy dokładności ±0,1°C. System regulacji temperatury zapewnia, że temperatura warstwy fotoopornika pozostaje w normie. Zgodnie z wymogami środowiska czystego, materiały i uszczelki są wybierane tak, aby były kompatybilne z warunkami panującymi w pomieszczeniach klasy 1–100. Urządzenie nie wytwarza żadnych cząsteczek podczas pracy ciągłej. Jego wydajność pozostaje stabilna przez ponad 5 000 godzin, przy jednoczesnym zachowaniu intensywności światła na poziomie poniżej 5% podczas ciągłej pracy.
Dlaczego to urządzenie sprawdza się w litografii?
W urządzeniach litograficznych grzejnik sondału umożliwia kontrolę warunków termicznych w punkcie pomiaru, dzięki czemu eliminuje się błędy spowodowane zmianami temperatury, które występują po procesie odparowywania i wymagają powtórnego przetwarzania płytki. Dzięki temu proces staje się bardziej precyzyjny, a elipsometria może odzwierciedlać rzeczywiste właściwości warstwy fotoopornika. Wynikiem jest mniej błędów, lepsza kontrola rozmiarów płytki oraz możliwość planowania czasu realizacji procesu. Ponadto urządzenie oszczędza energię dzięki szybkiemu dostosowaniu temperatury i niskim stratom podczas przerw w pracy, bez utraty precyzji.
Co musisz uwzględnić, aby urządzenie dobrze funkcjonowało?
Urządzenie wymaga czystego, filtrowanego zasilania oraz precyzyjnego ustawienia mechanicznego względem interfejsu sondy – błędne ustawienie może doprowadzić do niestabilności temperatury na poziomie mikronów. Urządzenie może być integrowane z standardowymi interfejsami narzędzi, ale należy określić rodzaj złącza i sposób montażu elipsometru. Konieczne jest przeprowadzenie krótkiego testowania, aby dostosować parametry PID do specyfiki Twoich płytek krzemowych.