Mantendo sua sala limpa de verdade: A verdade sobre o aquecimento por infravermelho
Se você opera uma sala limpa de classe 100, certamente conhece o problema causado pela presença de partículas em suspensão no ar. Uma única partícula de poeira ou um pouco de gás liberado pode estragar todo o lote de wafers produzidos.
O problema é que a maioria dos elementos de aquecimento convencionais não foi projetada para isso. Eles tendem a liberar partículas microscópicas à medida que se aquecem e esfriam. É uma batalha constante.
Descobrimos uma maneira melhor. Usamos tubos de quartzo de alta pureza, com uma camada refletora revestida de ouro. É simples, mas funciona.
Por que ouro?
As lâmpadas de quartzo convencionais emitem calor em todas as direções. Isso é um desperdício. Ao adicionar uma fina camada de ouro na parte traseira do tubo, conseguimos concentrar toda a energia infravermelha em uma única direção. Isso faz com que o calor alcance o substrato com maior eficiência. Usamos ouro porque ele é o melhor material para refletir o infravermelho. Além disso, diferente de outros materiais, ele não se oxida quando está quente.
E não utilizamos qualquer tipo de vidro. Usamos quartzo sintético de alta pureza. Isso significa que, ao aumentar a temperatura, não há risco de íons migrarem do tubo para o silício. O ambiente permanece limpo.
Velocidade, calor e limitações
Essas lâmpadas foram projetadas para processamento térmico rápido. Como o ouro concentra a energia, a área afetada pelo calor fica menor. Assim, as wafers chegam à temperatura desejada mais rapidamente, o que significa que elas passam menos tempo sob estresse.
Mas é preciso ter cuidado: veja a densidade de potência. Quando essas lâmpadas são utilizadas ao máximo, as partes externas podem sofrer danos. Sempre digo às pessoas para ficarem atentas aos selos de vácuo e às linhas de resfriamento. Não queremos que o estresse térmico cause danos ao quartzo durante o processo de produção.
Como integrá-las em sua linha de produção
Projetamos essas lâmpadas para substituir facilmente as lâmpadas convencionais. Não é necessário reconstruir todo o equipamento.
Uma das vantagens é que não há necessidade de usar refletores externos. Eles acumulam poeira e são difíceis de limpar. Como a reflexão acontece diretamente dentro do tubo, há menos peças no sistema.
Menos peças significam um ciclo de limpeza mais rápido. E um ciclo de limpeza mais rápido mantém a quantidade de partículas no nível desejado.