Na área de litografia, não se pode permitir que haja variações térmicas na câmara onde o fotoresisto é tratado. Essas variações resultam em resíduos, danos ao padrão formado e em perdas que não podem ser recuperadas. Por isso, desenvolvemos um aquecedor especial para manter a temperatura constante durante o processo – assim, a química responsável pelo tratamento do fotoresisto funciona corretamente, e o wafer sai limpo.
O que é importante por trás disso tudo
A unidade utiliza aquecimento por halógenos de onda curta, através de uma janela de quartzo. Isso garante uma resposta rápida e uma temperatura estável. A uniformidade térmica ao longo do wafer é mantida em ±0,1°C, e a repetibilidade entre diferentes ciclos é alta, evitando assim variações no processo. O corpo do aquecedor é compatível com salas limpas de classe 1–100, e todas as superfícies são tratadas para minimizar a geração de partículas. Na prática, isso significa menos defeitos, controle mais preciso da espessura do filme formado e resultados confiáveis. O sistema funciona 24/7, sem paradas não planejadas, e o consumo energético por ciclo fica dentro dos padrões estabelecidos.
Por que isso funciona no processo real de trattamento do fotoresisto
A etapa de tratamento do fotoresisto acontece após os passos de aquecimento suave e intenso. Nesses momentos, os filmes residuais são muito sensíveis; pontos quentes e bordas frias podem causar problemas. Nosso aquecedor mantém a temperatura dentro dos limites estabelecidos, sem excedimentos. Assim, os solventes evaporam de maneira uniforme e os polímeros são removidos corretamente. Isso permite tempos de ciclo mais rápidos, pois a temperatura é controlada com precisão. Além disso, há economia de energia, já que o aquecedor atinge a temperatura desejada rapidamente e depois a mantém estável. As possibilidades de reprocessamento diminuem, e a linha de produção continua funcionando sem interrupções.
Pontos importantes durante a instalação
É necessário garantir que o tamanho da câmara e as conexões estejam de acordo com as especificações. Fornecemos desenhos dimensionais e mapas de conexões para as ferramentas utilizadas no processo. O aquecedor só funciona corretamente quando as vedações da câmara estão em boas condições e o fluxo de gás é equilibrado. Após a manutenção, é preciso esperar um breve período de aquecimento para que o perfil térmico seja reestabilizado. A alinhamento durante a integração também deve ser preciso, para manter a uniformidade desejada.