На производственном этаже смещение температуры на 2°C в процессе мягкого запекания достаточно для изменения критических размеров и приводит к большому количеству брака. Мы разработали эту чистовую печь с инфракрасными обогревателями, чтобы устранить эту переменность и обеспечить термический контроль, который требуется для литографии.
Вот техническое сердце устройства. Элементы коротковолнового инфракрасного излучения передают энергию непосредственно в нагрузку, что снижает тепловую инерцию, и температура устанавливается быстро. По всей нагреваемой зоне вы поддерживаете однородность в пределах ±0.1°C, а стабильность заданной температуры сохраняется при постоянном цикле.
Корпус обогревателя и крепления рассчитаны на использование в чистых помещениях класса 1–100 — материалы с низким уровнем выделения газов и конструкция, которая не выделяет частицы, когда вы находитесь в установившемся состоянии. Профили запекания фоточувствительных материалов — мягкое и жесткое запекание — остаются в пределах спецификаций, что способствует повышению выхода и снижению брака.
В процессе обработки ваферов тепловой бюджет имеет свои ограничения. Этот обогреватель соответствует точности, требуемой международными стандартами оборудования для полупроводников, поэтому он является валидированным эквивалентным вариантом для обновлений и модернизаций печей.
Вы получаете более быстрое время разогрева, более строгий контроль критических размеров и более низкое потребление энергии, так как эффективность преобразования высокая, а потери в режиме ожидания минимальны. Он работает круглосуточно без неплановых простоев, и вы получаете повторяемые результаты смена за сменой, инструмент за инструментом.
Теперь практическая сторона. Модернизация требует внимания к геометрии камеры печи, паттерну воздушного потока и к тому, что у вас есть для интерфейсов питания и управления. Обогреватель работает лучше всего, когда нагрузка постоянна, а рецепт запекания привязан к фактической стековой пластине, а не только к заданной температуре печи.
Запланируйте короткий пусконаладочный запуск, чтобы зафиксировать профиль, затем проверьте количество частиц в чистом помещении, прежде чем переходить к производству.