На производственном полу данные, получаемые с помощью эллипсометрии, имеют ценность только в той мере, в какой соответствует температура пробки. Изменение температуры на 1°C во время процессов мягкой или жесткой обработки может привести к изменению толщины фоторезиста и его коэффициента CD. Это, в свою очередь, может привести к сбоям в работе пластины. Мы разработали специальный нагреватель для пробок эллипсометра, который обеспечивает точность до ±0,1°C; таким образом, показания прибора отражают состояние самой пластинки, а не колебания температуры.
Что действительно важно Нагреватель использует элемент с низкой тепломассой и оптимизированный для использования в инфракрасном диапазоне, а также кварцевый тепловой канал, что позволяет избежать возникновения температурных градиентов на поверхности пластинки. Значения температуры в диапазоне от 25°C до 300°C сохраняются в пределах ±0,1°C. Контроль за температурой позволяет поддерживать заданные параметры фоторезиста. Соблюдаются стандарты чистого производства: материалы и уплотнители выбираются с учетом требований классов чистоты от 1 до 100. Конструкция устройства не выделяет частиц во время постоянной работы. Выходная мощность остается стабильной в течение более 5 000 часов, при этом отклонение интенсивности света составляет менее 5%.
Почему это важно в литографии В литографических установках нагреватель обеспечивает стабильные температурные условия в точке измерения, что позволяет избежать ошибок, вызванных изменениями температуры после процесса обработки. Это способствует повышению точности процесса литографии. Результатом является меньше ошибок, более точный контроль коэффициента CD, а также возможность планирования времени выполнения процесса. Кроме того, благодаря быстрому достижению рабочей температуры и низким потерям энергии, можно сэкономить энергию, не теряя при этом точности.
Что необходимо учесть Устройство требует чистого и фильтрованного питания, а также точной механической настройки по отношению к интерфейсу пробки. Несоответствие этих параметров может привести к возникновению температурных неоднородностей в микрометровом масштабе. Устройство может быть интегрировано с стандартными интерфейсами оборудования, но необходимо указать тип разъема и способ монтажа. Также необходимо провести краткий тестовый запуск для настройки параметров PID для конкретной пластинки.