
Прекратите тратить энергию впустую в вашей камере для обработки полупроводниковых пластин
Если вы когда-либо использовали камеру для нагрева кремниевых пластин, вы знаете, как это раздражает. Вы включаете нагреватель, но огромная часть энергии просто теряется. Стандартные инфракрасные нагреватели излучают тепло во все стороны; половина этого тепла попадает на стенки камеры, а не на саму пластину. Это бесполезная трата энергии и времени.
Мы нашли лучший способ. Мы начали использовать отражатели с золотым покрытием прямо в составе нагревателя.
Почему именно золото?
Это просто: золото гораздо лучше отражает инфракрасное излучение, чем алюминий или полированная сталь. Вместо того чтобы энергия поглощалась конструкциями нагревателя, золотой слой отражает инфракрасные волны обратно на пластину.
Таким образом, распыленный источник тепла превращается в сосредоточенный луч. Тепло поступает именно туда, где это необходимо.
Но есть и недостаток: поскольку мы направляем большое количество тепла на пластину, сам корпус нагревателя становится очень горячим. Это компромисс. Вам следует убедиться, что в камере хватает вентиляции или системы охлаждения. Если вокруг корпуса нагревателя недостаточно потока воздуха, это может привести к повреждению электроники или даже к плавлению соединителей.
Хорошая новость заключается в том, что эти элементы можно заменить без необходимости полной перестройки всей системы. Просто замените их на элементы с золотым покрытием – и каждый ватт будет использоваться эффективно. Вы заметите, что достигаете нужных температур быстрее, а блок питания будет работать значительно менее интенсивно.
А если речь идет о высокоточных процессах термической обработки, это решение будет особенно полезным. Тепло будет распределяться более равномерно по поверхности пластины. Никаких проблем с перегревом. Если добавить к этому качественный контроллер PID, можно сохранять необходимые параметры без лишних проблем.