На производственном участке вы знаете, насколько быстро отклонение температуры на 0,5°C во время процесса обработки фотополимера может негативно повлиять на критические размеры деталей и привести к потере большого количества продукции. Мы разработали систему высокотемпературной термо-ленты, чтобы избавиться от такой неопределенности.
Что имеет значение с технической точки зрения
Система обеспечивает стабильность температуры на уровне ±0,1°C по всей площади пластины благодаря использованию коротковолнового инфракрасного излучения и системы контроля температуры с замкнутым циклом. Она предназначена для использования в чистых комнатах класса 1–100; материалы, используемые в системе, имеют минимальный уровень выделения газов, а также система контроля за частицами помогает поддерживать их количество на нужном уровне. Профили свойств фотополимера остаются стабильными с каждым циклом обработки, поскольку температурный режим строго контролируется, а не оценивается приблизительно.
Почему это работает в процессе литографии
Стабильность температуры во время мягкой обработки напрямую влияет на процесс удаления растворителей и на напряжения в пленке. Стабильность процесса жесткой обработки определяет степень адгезии и устойчивость пленки к химическому воздействию. Наша система позволяет сохранять все эти параметры в заданных значениях, что снижает количество исправлений, повышает производительность и сокращает расход энергии. В результате получается более точный контроль над размерами деталей, меньше дефектов, а также возможность планирования интервалов технического обслуживания. Другими словами, производительность повышается без необходимости постоянного контроля за отклонениями температуры.
Несколько практических рекомендаций
При установке необходимо соответствовать требованиям к мощности вентиляции и системе изоляции от вибраций. Неправильная компоновка вентиляционных каналов может привести к турбулентности потока воздуха, что негативно сказывается на стабильности температуры. Нагреватель может выдерживать многократные циклы нагрева/охлаждения, но при высоких температурах и высокой производительности необходимо регулярно проверять состояние интерфейса термо-ленты, чтобы сохранить её адгезию. Если система будет использоваться в соответствии с установленными параметрами, она будет функционировать как предусмотрено.