ในขั้นตอนการผลิตฟิล์มโฟโตเรซิสต์นั้น คุณไม่สามารถปล่อยให้อุณหภูมิในห้องปฏิบัติการเปลี่ยนแปลงได้เลย เพราะอุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงจะส่งผลให้เกิดคราบสกปรก และทำให้รูปร่างของชิ้นงานเสียหาย ซึ่งคุณจะไม่สามารถแก้ไขได้อีก เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนขึ้นมาเพื่อควบคุมอุณหภูมิให้คงที่ เพื่อให้กระบวนการเกิดขึ้นอย่างมีประสิทธิภาพ และทำให้ชิ้นงานออกมาสะอาด
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เครื่องนี้ใช้ระบบทำความร้อนด้วยรังสีฮาโลเจนคลื่นสั้นผ่านหน้าต่างควอตซ์ ดังนั้นจึงมีการตอบสนองที่รวดเร็ว และอุณหภูมิจะคงที่ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วพื้นที่ของชิ้นงานอยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำก็อยู่ในระดับที่ดี ทำให้อุณหภูมิไม่เปลี่ยนแปลงไปตามแต่ละรอบการผลิต เครื่องทำความร้อนนี้เหมาะสำหรับห้องปฏิบัติการระดับ Class 1–100 และพื้นผิวทั้งหมดถูกออกแบบมาเพื่อลดการเกิดฝุ่น ในทางปฏิบัติ นั่นหมายถึงจำนวนข้อบกพร่องที่ลดลง การควบคุมความแม่นยำของชิ้นงานที่ดีขึ้น และผลลัพธ์ที่น่าพอใจ ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดที่ไม่คาดคิด และอุณหภูมิในแต่ละรอบการผลิตก็อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในการผลิตฟิล์มโฟโตเรซิสต์
ขั้นตอนการทำความร้อนนี้เกิดขึ้นหลังจากขั้นตอนการอบชิ้นงาน ซึ่งในขั้นตอนนี้ฟิล์มที่เหลืออยู่มีความไวต่ออุณหภูมิมาก ดังนั้นจุดที่มีอุณหภูมิสูงหรือต่ำจะส่งผลเสียได้ เครื่องทำความร้อนของเราจะช่วยควบคุมอุณหภูมิให้คงที่ ทำให้สารละลายระเหยออกอย่างสม่ำเสมอ และโพลิเมอร์ก็จะถูกกำจัดออกไปอย่างสะอาด ดังนั้นจึงช่วยให้เวลาในการผลิตลดลง และยังช่วยประหยัดพลังงานอีกด้วย เพราะเครื่องทำความร้อนสามารถทำงานได้อย่างรวดเร็วและคงที่ ทำให้ช่วงเวลาการผลิตขยายออกไป และลดความจำเป็นในการแก้ไขข้อบกพร่องลง ทำให้กระบวนการผลิตสามารถดำเนินต่อไปได้
สิ่งที่ต้องคำนึงถึงในขณะติดตั้ง
ต้องให้ขนาดของห้องปฏิบัติการและอินเตอรเฟซการเชื่อมต่อสอดคล้องกัน เรามีแบบรูปและแผนที่การเชื่อมต่อสำหรับเครื่องมือทำความร้อนต่างๆ ด้วย เครื่องทำความร้อนจะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพก็ต่อเมื่อห้องปฏิบัติการมีการปิดผนึกที่ดี และการไหลของก๊าซมีความสมดุล หลังจากการบำรุงรักษา จำเป็นต้องมีเวลาในการอุ่นเครื่องเล็กน้อยเพื่อให้อุณหภูมิกลับมาอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด การปรับตำแหน่งของเครื่องทำความร้อนก็มีความสำคัญเช่นกัน เพื่อให้อุณหภูมิคงที่ตามที่กำหนด