Litografi işlemlerinde, fotoresist bulunan odadaki sıcaklık değişimlerine izin verilemez. Sıcaklık farklılıkları, kalıp hasarlarına ve telafi edilemeyen verim kayıplarına neden olur. Bu yüzden işlem sıcaklığını sabit tutmak için özel bir ısıtıcı kullanıyoruz; böylece kimyasallar görevlerini yerine getirebilir ve wafer temiz bir şekilde çıkabilir.
Önemli olanlar
Bu cihaz, kuvars penceresi aracılığıyla kısa dalga halojen ısıtması kullanır; bu sayede tepki hızı yüksek olur ve çıktı sabit kalır. Wafer üzerindeki sıcaklık düzgünlüğü ±0,1°C olarak korunur ve her seferinde aynı sonuçlar elde edilir. Isıtıcı gövdesi, Cleanroom Class 1–100 standartlarına uygundur ve tüm yüzeyler, parçacık üretimini azaltacak şekilde işlenmiştir. Bu da daha az kusur, daha iyi kontrol ve güvenilir sonuçlar anlamına gelir. Sistem 7/24 çalışır ve her döngü için gerekli sıcaklık değerleri sağlanır.
Neden bu yöntem işe yarar?
Fotoresist işlemlerinde, yumuşak ve sert pişirme işlemlerinden sonra “strip” adımı gelir. Bu aşamada artık kalan film tabakaları hassastır; sıcak noktalar ve soğuk kenarlar sorun yaratabilir. Bizim ısıtıcımız, odayı belirlenen sıcaklıkta tutar; böylece çözücüler eşit şekilde buharlaşır ve polimerler temiz bir şekilde ayrılır. Kontrollü bir şekilde ısınma sağlandığı için döngü süreleri kısalır ve enerji tasarrufu sağlanır. İşlem süreçleri genişler, yeniden işleme ihtiyacı azalır ve üretim süreci devam eder.
Kurulum sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Odanın boyutları ve bağlantı arayüzleri uyumlu olmalıdır. Yaygın olarak kullanılan strip cihazları için boyutsal çizimler ve pin haritaları sağlanmaktadır. Isıtıcı, oda mühürlemesi iyi olduğunda ve gaz akışı dengeli olduğunda maksimum performansını sergiler. Bakım sonrasında, profili tekrar stabilize etmek için kısa bir ısınma süresi gerekir. Entegrasyon sırasında hizalama doğru yapılmalı ki belirlenen sıcaklık düzgünlüğü korunsun.