Fabrikada hızlı öğrenirsiniz: fotoresist fırınlama sırasında yarım derece kayma, kritik boyutları nanometreler ile kaydırabilir ve tek bir parçacık bir die’yi öldürebilir. Isıtma elemanı, her bir döngüde tekrar edilebilir, temiz ısı sağlamalıdır.
Teknik olarak önemli olan
Yarı iletken termal bütçeleri için tasarlanmış tungsten filament kuvars lambaları kullanıyoruz. Tungsten filament, size kararlı radyan çıkışı sağlar ve kuvars zarf temiz kızılötesi iletimi yaparak minimum gaz salınımı sağlar. Hedef düzlem boyunca, sıcaklık uniformluğu ±0.1°C’de sabit kalır ve paket, Sınıf 1–100 ortamları için temiz oda uyumlu hale getirilmiştir.
Sıfır parçacık üretimi, kontrollü malzemeler ve kapalı sonlandırmalar yoluyla sağlanmakta, böylece parçacık sayıları işlem kabul edilebilir seviyelerde tutulmaktadır. Bu çıkış tekrar edebilirliği, sıkı yumuşak fırın ve sert fırın profillerine sorun yaşamadan ulaşmanızı sağlar, böylece verimi korur.
Neden ihtiyaç duyduğunuz yerde işe yarar
Litografi ve resist işleme alanında, kararlı ve uniform ısı, doğrudan tutarlı çözücü kaldırma ve çapraz bağlanma ile ilişkilidir. Bu, CD kontrolünü ve kenar-bead davranışını spesifikasyona uygun tutar. Temiz oda uyumluluğu ve düşük parçacık salınımı, wafer’larda daha az kontaminasyon olayı ve daha az plansız kurtarma anlamına gelir.
Verimlilik, lamba spektrumu ve güç yoğunluğunu termal yük ile eşleştirmekten gelir. Isı atığını azaltırken hızlı termal yanıt alırsınız. Karşılığında öngörülebilir fırın performansı, kararlı işlem pencereleri ve daha az atık wafer elde edersiniz.
Dikkat edilmesi gereken noktalar
Bu lambalar belirli termal yükler için tasarlanmıştır ve eşleşen soketler ve güç kaynakları gerektirir. Tanımlanan zarfın dışındaki bileşenleri değiştirmek, uniformluğu kaydırma ve ömrü kısaltma riski taşır. Termal kütle ve montaj toleranslarını planlayarak, odak düzleminin işlem pencerenizin beklediği yere inmesini sağlarsınız.
Doğru hizalama ve kontrollü çalışma koşulları ile lamba, 5,000+ saat boyunca %5’ten az bir çıkış düşüşü ile kararlı çıkış sağlar. Bu, hattın termal sürprizler olmadan çalışmasını sağlar.