На виробничому майданчику відхилення на 2°C під час софт-бейку достатнє, щоб змінити критичні розміри і викликати брак. Цю піч для чистої кімнати ми побудували з інфрачервоними нагрівачами, щоб усунути цю змінність і забезпечити термоконтроль, якого насправді вимагає літографія.
Ось технічне серце системи. Короткохвильові інфрачервоні елементи безпосередньо передають енергію у завантаження, що зменшує теплову інерцію і дозволяє температурі швидко стабілізуватися. По всій зоні нагріву підтримується однорідність ±0.1°C, а стабільність заданої точки витримується навіть при постійному циклюванні.
Корпус нагрівача та кріплення відповідають вимогам чистої кімнати класу 1–100 — використані матеріали з низьким рівнем виділення газів і конструкція, що не утворює частинок під час стабільного режиму роботи. Профілі випікання фоторезисту — софт-бейк і хард-бейк — залишаються у межах специфікації, що підтримує високий вихід продукції і мінімізує відходи.
У процесах обробки пластин тепловий бюджет обмежений. Цей нагрівач відповідає точності, встановленій міжнародними стандартами обладнання для напівпровідникової промисловості, тому його можна використовувати як валідовану еквівалентну опцію для оновлення і модернізації печей.
Отримуєте швидше розігрівання до заданої температури, точніше керування критичними розмірами (CD) і нижче енергоспоживання завдяки високому коефіцієнту перетворення і мінімальним втратам у режимі очікування. Піч працює безперервно 24/7 без непередбачених простоїв, і результати повторюються поспіль у зміні за зміною, на різному устаткуванні.
Практичні моменти. Модернізація вимагає врахування геометрії камери печі, схеми потоків повітря і наявних інтерфейсів живлення і керування. Нагрівник працює ефективно, коли навантаження стало, а рецепт випікання прив’язаний до фактичного стеку пластин, а не лише до заданої точки печі.
Сплануйте короткий пусконалагоджувальний пробіг для фіксації профілю, після чого перевірте кількість частинок у чистій кімнаті перед запуском у виробництво.