Як підтримувати чистоту в чистій кімнаті: правда про інфрачервоне нагрівання
Якщо ви керуєте чистою кімнатою класу 100, ви вже знаєте, наскільки складно уникнути появи частинок пилу. Одна-єдина крихта пилу може зруйнувати всю партію пластин.
Проблема полягає у тому, що більшість стандартних нагрівальних елементів не призначені для таких умов. Під час нагрівання та охолодження з них відшаровуються мікроскопічні частинки. Це постійна боротьба.
Ми знайшли кращий спосіб. Ми використовуємо кварцеві трубки високої чистоти з відбивною поверхнею, покритою золотом. Це просто, але ефективно.
Чому саме золото?
У стандартних кварцових лампах тепло розсіюється в усіх напрямках. Це марнування ресурсів. Шляхом додавання тонкого шару золота на задню сторону трубки ми можемо спрямувати всю інфрачервону енергію вперед. Таким чином тепло, яке потрапляє на поверхню матеріалу, подвоюється. Ми використовуємо золото, тому що воно найкраще відбиває інфрачервоне світло, а на відміну від інших матеріалів не окислюється при високих температурах.
Крім того, ми використовуємо не будь-яке скло – а синтетичний кварц високої чистоти. Це означає, що при підвищенні температури не потрібно хвилюватися про міграцію іонів з трубки на поверхню кремнію. Поверхня залишається чистою.
Швидкість, тепло та недоліки
Ці лампи призначені для швидкого термічного оброблення. Завдяки золоту енергія концентрується, тож тепло досягає цільової температури значно швидше. Це означає, що пластини проводять менше часу під тиском.
Але є одна увага: слід стежити за щільністю потужності. Коли лампи працюють на повну потужність, їх кінцеві елементи сильно нагріваються. Я завжди раджу стежити за вакуумними ущільненнями та системами охолодження. Не хочеться, щоб термічний стрес пошкодив кварц посеред процесу обробки.
Як використовувати ці лампи у вашому обладнанні
Ми розробили їх так, щоб їх можна було просто замінити на існуючі лампи. Не потрібно перебудовувати всю систему обладнання.
Одна з переваг – можна позбутися великих зовнішніх відбивачів. Вони є джерелом пилу та їх складно чистити. Оскільки відбиття світла відбувається безпосередньо всередині трубки, у приміщенні стає менше деталей.
Кількість деталей, яка зменшується, означає швидший цикл очищення. А швидкий цикл очищення забезпечує те, що кількість частинок залишається на необхідному рівні.