На виробничій лінії ви розумієте, наскільки швидко зміна температури на 0,5°C під час процедури випалювання фоторезисту може призвести до порушення критичних параметрів і знищення великої кількості продукції. Ми створили систему для обробки матеріалів при високих температурах, щоб усунути цю невизначеність.
Що є важливим з технічної точки зору Ця платформа забезпечує стабільність температури на рівні ±0,1°C по всій поверхні пластини, шляхом використання коротковхвильового інфрачервоного випромінювання та системи контролю температури з замкнутим циклом. Вона призначена для чистих приміщень класу 1–100; використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування, а також система контролю частинок, яка дозволяє підтримувати рівень частинок нижче допустимого рівня під час процедур випалювання. Профілі фоторезисту залишаються стабільними з циклу в цикл, оскільки температура контролюється точно – а не приблизно.
Чому це ефективно в літографії Стабільність температури під час процедури м’якого випалювання безпосередньо впливає на процес видалення розчинників та напругу у шарі фоторезисту. Стабільність під час процедури жорсткого випалювання впливає на зчеплення та стійкість шару фоторезисту до хімічного впливу. Наша система дозволяє підтримувати ці параметри в заданих межах, що зменшує кількість необхідних корекцій, підвищує продуктивність та скорочує витрати енергії, оскільки температура контролюється точно. У результаті досягається кращий контроль над параметрами продукції, менше дефектів, а також можна планувати періоди технічного обслуговування – іншими словами, підвищується продуктивність без необхідності постійного контролю за змінами параметрів.
Ось кілька практичних порад: Під час встановлення необхідно враховувати потужність вентиляції та умови ізоляції від вібрацій. Неправильне підключення вентиляційних каналів може спричинити турбулентність потоку повітря, що призведе до порушення стабільності температури. Нагрівач може витримувати багаторазові цикли нагрівання, але за умов високих температур та високої продуктивності необхідно періодично перевіряти стан інтерфейсу нагрівача, щоб зберегти його цілісність. Якщо все налаштовано правильно, система буде працювати так, як передбачено.