На стадії літографії не можна допустити термічних змін у камері з фоточутливою плівкою. Розбіжності в температурі призводять до появи залишків речовин, пошкоджень на поверхні пластини, а також до зниження якості продукції, що неможливо компенсувати. Ми створили спеціальний нагрівач, який дозволяє підтримувати температуру в межах необхідних значень – таким чином хімічні процеси відбуваються правильно, а пластина залишається чистою.
Що є важливим у цьому пристрої
Пристрій використовує нагрівання короткими хвилями галогену через кварцове вікно, тож реакція відбувається швидко, а рівень температури залишається стабільним. Рівномірність температури по всій поверхні пластини контролюється на рівні ±0,1°C, а повторюваність результатів є високою, що запобігає змінам параметрів процесу. Корпус нагрівача сумісний з умовами чистих кімнат класу 1–100; кожна поверхня обробляється так, щоб мінімізувати утворення частинок. Насправді це означає менше дефектів, кращий контроль параметрів та стабільні результати процесу. Система працює 24/7 без перерв, а температурний режим залишається в межах заданих параметрів.
Чому це ефективно під час обробки фоточутливої плівки
Етап нагрівання відбувається після легкого та інтенсивного нагрівання, коли залишки речовин ще є чутливими до температури – „гарячі точки“ та „холодні краї“ можуть завдати шкоди пластині. Наш нагрівач підтримує температуру в заданих межах, тож розчинники випаровуються рівномірно, а полімери видаляються без залишків. Це дозволяє скоротити час виконання процесу, а також економити енергію, оскільки нагрівач швидко досягає необхідної температури та потім підтримує її стабільно. Це також розширює можливості процесу, зменшує кількість необхідних корекцій та забезпечує безперервну роботу лінії.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Необхідно забезпечити сумісність розмірів камери та інтерфейсу з’єднання – ми надаємо креслення та таблиці для підключення до різних пристроїв. Нагрівач буде працювати на повну потужність лише за умови належного герметизування камери та збалансованого потоку газу. Після технічного обслуговування необхідно провести коротку період підігріву для відновлення стабільних параметрів процесу. Під час інтеграції необхідно точно налаштувати параметри, щоб зберегти бажаний рівень рівномірності температури.