Подивіться, як з пристрою для нанесення фотополімеру виходить пластинка розміром 300 мм. Фотополімер вже готовий до використання – але якщо процес випалювання не є однорідним, це призводить не лише до втрати однієї пластинки. Це також впливає на загальну ефективність всього процесу літографії. Ми створили спеціальну систему для обробки пластинок розміром 300 мм, яка забезпечує рівномірне розподілення тепла саме там, де це необхідно.
Що насправді має значення
Ми використовуємо випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла для швидкої та прямої передачі енергії. Це забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластинки – до ±0,1°C. Така стабільність зберігається протягом усіх циклів обробки. Платформа сумісна з чистими приміщеннями класу 1–100; крім того, вона не створює жодних частинок, тож приміщення залишається чистим.
Це має велике значення у процесі літографії – адже це безпосередньо впливає на кроки, які є найбільш чутливими до тепла: процеси м’якого та жорсткого випалювання, а також процеси висихання. Коли температура є однорідною, контроль критичних розмірів залишається стабільним, а кількість дефектів зменшується. Теплова реакція відбувається швидко, тож час виконання процесу скорочується.
Крім того, випромінювачі розроблені для безперервної роботи протягом 5 000 годин, що означає менше проблем та менше часу, потрібного на заміну матеріалів.
Що потрібно врахувати під час планування
Цей пристрій може бути легко інтегрований у існуючі процеси, але для його роботи потрібні окреме живлення та система охолодження. Необхідно передбачити живлення напругою 240 В, трьохфазне, а також систему охолодження з використанням деіонізованої води, щоб забезпечити теплову стабільність під постійним навантаженням.
Переваги цього рішення є очевидними: можливість точного контролю процесу щодня.