لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ ٹیبل کے اندر درجہ حرارت میں کسی قسم کی تغیرات کو برداشت نہیں کیا جاسکتا۔ درجہ حرارت میں تغیرات کی وجہ سے فوٹوریزسٹ پر داغ پڑتے ہیں، پیٹرن خراب ہو جاتے ہیں، اور اس کی وجہ سے حاصل ہونے والے نتائج بھی خراب ہو جاتے ہیں۔ ہم نے ایک خصوصی ہیٹر تیار کیا ہے، تاکہ عمل کے دوران درجہ حرارت کو مستحکم رکھا جاسکے؛ اس طرح کیمیکلز اپنا کام صحیح طریقے سے انجام دے سکتے ہیں، اور ویفر صاف حالت میں باہر آتا ہے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
یہ یونٹ کوارٹز کی کھڑکی کے ذریعے شارٹ-ویو ہیلوجن حرارت کا استعمال کرتا ہے؛ اس لیے ردِعمل تیز ہوتا ہے، اور آؤٹ پٹ مستحکم رہتا ہے۔ ویفر کے پورے سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاتا ہے، اور ہر بار عمل کے نتائج مستقل رہتے ہیں۔ ہیٹر کا ڈیزائن کلین روم کلاس 1–100 کے مطابق ہے، اور ہر سطح کو اس طرح تیار کیا گیا ہے کہ ذرات کی پیداوار کم رہے۔ عملی طور پر، اس کا مطلب یہ ہے کہ خرابیاں کم ہوتی ہیں، CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور نتائج قابل اعتماد ہوتے ہیں۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا ہے، اور ہر چکر میں درجہ حرارت مخصوص حدود کے اندر رہتا ہے۔
حقیقی فوٹوریزسٹ عمل میں یہ کیوں کارگر ہے؟
“اسٹریپ” عمل، “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” کے بعد ہوتا ہے؛ اس وقت باقی رہنے والی فلمیں بہت حساس ہوتی ہیں۔ ہمارا ہیٹر، چیمبر کے درجہ حرارت کو مستحکم رکھتا ہے؛ اس طرح سولوینٹس یکساں طور پر بخارات بن جاتے ہیں، اور پولیمرز صاف ہو جاتے ہیں۔ اس طرح عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور توانائی کی بچت ہوتی ہے۔ عمل کے دوران درجہ حرارت کی حدیں وسیع ہو جاتی ہیں، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور عمل جاری رہتا ہے۔
تنصیب کے دوران کن چیزوں کا خیال رکھنا ضروری ہے؟
چیمبر کے سائز اور کنکٹر انٹرفیس کو مناسب طریقے سے میچ کرنا ضروری ہے؛ ہم عام اسٹریپ ٹولز کے لئے سائز کے نقشے اور پن میپ فراہم کرتے ہیں۔ ہیٹر، تب ہی مناسب کارکردگی دکھاتا ہے، جب چیمبر کی سیلنگ درست ہو، اور گیس کا بہاؤ متوازن ہو۔ مرمت کے بعد، پروفائل کو دوبارہ مستحکم کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہوتا ہے۔ انٹیگریشن کے دوران، مطلوبہ درجہ حرارت کو برقرار رکھنے کے لئے ایڈجسٹمنٹ ضروری ہے۔